[实用新型]一种OLED蒸镀设备

说明书

本实用新型公开了一种OLED蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀室，基板布置在所述蒸镀室上方中心位置，所述蒸镀室内设有间隔布置的多个坩埚，所述坩埚可沿边缘向中心基板方向移动。本实用新型OLED蒸镀设备，结构简单，镀膜质量好，可大大提升器件性能，具有较强的实用性和较好的应用前景。

技术领域

本实用新型属于电路板技术领域，更具体地说，涉及一种OLED蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，具有功耗低、自发光且发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点。其中硅基OLED微显示技术是OLED光电子技术与硅基集成电路微电子技术的结合，主要应用在微显示领域。是利用成熟的CMOS集成电路工艺，芯片制作完好后，再进行OLED器件的制作，从而提高了整个显示器的良率。OLED微显示器体积小，非常便于携带，并且其凭借小体积提供的近眼显示效果较为理想，伴随虚拟现实的快速发展需求，OLED微显示器将呈现快速发展趋势。

OLED的发光机理，目前普遍公认的是能带理论模型，认为OLED发光属于注入式发光，即由阳极注入的空穴和阴极注入的电子,在发光层复合后产生激子,激子自身通过光辐射形式释放光子回到基态,或将能量传递给发光层分子,激发发光材料的电子从基态跃迁至激发态,然后以光辐射跃迁形式返回基态。而其中的这层发光材料是通过真空蒸镀的方式镀在基板上面，可见，薄膜质量影响着屏幕显示质量。而薄膜质量与OLED的蒸镀工艺有很大的关系，由于现有在OLED蒸镀工艺尤其在半导体显示应用中的镀源一般采用点源，根据分子自由运动理论，点源蒸发出的材料为分散性排布，因为基板为平面，所以点源所蒸发的材料到基板上沿晶圆直径方向分布不同，造成工件的均匀度不高。尤其在晶圆尺寸较大的状况下，wafer靠近镀源与远离镀源两侧差异较大，对OLED器件性能影响较大。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术存在的问题，提供一种结构简单，镀膜质量好，可大大提升器件性能的OLED蒸镀设备。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：所提供的这种OLED蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀室，基板布置在所述蒸镀室上方中心位置，所述蒸镀室内设有间隔布置的多个坩埚，所述坩埚可沿边缘向中心基板方向移动。

为使上述技术方案更加详尽和具体，本实用新型还提供以下更进一步的优选技术方案，以获得满意的实用效果：

所述蒸镀室底板上设有支撑座，所述坩埚沿所述支撑座边沿均匀间隔布置。

所述支撑座上设有分别与每个所述坩埚对应的导槽，所述导槽由所述支撑座的边沿向所述支撑座中部延伸。

所述坩埚由所述驱动缸连接驱动其沿所述导槽移动。

所述驱动缸布置在所述支撑座下方靠近中部位置，每个所述坩埚对应一个所述驱动缸。

所述坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体下方设有对应插接在所述导槽内且可沿所述导槽移动的导销。

所述导销下方设有推块，所述驱动缸的伸缩杆端连接在所述推块上。

所述基板通过电机及旋转轴可转动的连接在所述蒸镀室上方顶板上。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：本实用新型OLED蒸镀设备，结构简单，镀膜质量好，可大大提升器件性能，具有较强的实用性和较好的应用前景。

附图说明

下面对本说明书的附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为本实用新型OLED蒸镀设备第一种实施例结构示意图；

图2为本实用新型OLED蒸镀设备第二种实施例结构示意图；