[实用新型]一种自动化晶圆切割定位装置

权利要求书

1.一种自动化晶圆切割定位装置，包括支撑座（1），其特征在于：所述支撑座（1）的中部固定连接有固定座（2），所述固定座（2）和支撑座（1）之间滑动贯穿有支撑柱（3），所述支撑柱（3）的下端与伸缩气缸（302）的输出端固定连接，所述支撑柱（3）的上端固定连接有底板（4），所述底板（4）的上端固定安装有真空陶瓷吸盘本体（5），所述底板（4）的两侧均固定连接有固定板（401），所述支撑座（1）上固定连接有固定杆（6），所述固定杆（6）的内部滑动连接有调节杆（601），所述调节杆（601）的端部滑动贯穿至固定板（401）上且固定连接有支撑板（7），所述支撑板（7）之间插接固定有第一扩展板（8），所述第一扩展板（8）套设在真空陶瓷吸盘本体（5）的周围。

2.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆切割定位装置，其特征在于：所述固定杆（6）设有三个且呈环形阵列均匀的分布在支撑座（1）上，所述固定杆（6）的内部设有与调节杆（601）相匹配连接的滑槽（602），所述调节杆（601）的两侧均固定连接有限位块（603），所述滑槽（602）的槽壁上设有与限位块（603）相匹配连接的限位槽（604）。

3.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆切割定位装置，其特征在于：所述固定杆（6）的上端通过弹簧与固定板（401）之间通过弹簧固定连接，所述弹簧套设在调节杆（601）上。

4.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆切割定位装置，其特征在于：所述支撑座（1）和固定座（2）的内部均设有与支撑柱（3）相匹配连接的导向槽（301）。

5.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆切割定位装置，其特征在于：所述支撑板（7）的上端至少固定连接有三个定位块（701），相邻的所述支撑板（7）上的定位块（701）之间呈环形阵列分布，所述第一扩展板（8）上设有与定位块（701）相匹配连接的定位孔（801），所述定位孔（801）上固定连接有防滑橡胶垫。

6.根据权利要求5所述的一种自动化晶圆切割定位装置，其特征在于：呈环形阵列设置的所述定位块（701）之间还插接有第二扩展板（9），所述第二扩展板（9）上也设有与定位块（701）相匹配连接的定位孔（801），所述第一扩展板（8）和第二扩展板（9）均与真空陶瓷吸盘本体（5）间隙相隔，且所述第一扩展板（8）和第二扩展板（9）均与真空陶瓷吸盘本体（5）的顶部平齐。