[实用新型]柔性自驱动振动传感器

权利要求书

1.柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述传感器部以软膜结构的第一摩擦层和第二摩擦层作为电极；所述第一摩擦层、第二摩擦层的非摩擦面贴覆有用于封装的配重膜；所述第一摩擦层、第二摩擦层在边缘处连接固定。

2.根据权利要求1所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述第一摩擦层为铝膜；第二摩擦层为FEP膜；所述第一摩擦层和第二摩擦层处设有导线，所述导线把第一摩擦层和第二摩擦层摩擦产生的电荷向外引出为传感器的电信号。

3.根据权利要求2所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述铝膜的摩擦面的中部设有微孔区；所述微孔区密布微孔；所述FEP膜的摩擦面的中部设有导电区；所述导电区处覆有导电油墨。

4.根据权利要求3所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述微孔区处的微孔为针尖大小的微孔；所述微孔区与导电区的位置在俯视向上重合。

5.根据权利要求4所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述铝膜、FEP膜的尺寸均为8cm×8cm，所述微孔区与导电区的面积均为5cm×5cm，微孔区的微区密度为9个/cm²。

6.根据权利要求2所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：当传感器与待测机械结构相连时，所述配重膜对第一摩擦层和第二摩擦层配重，使第一摩擦层和第二摩擦层的摩擦频率与待测机械结构的振动频率相同。

7.根据权利要求6所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述第一摩擦层和第二摩擦层为矩形膜；所述配重膜为矩形的纸张。

8.根据权利要求7所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述配重膜以胶水粘于第一摩擦层、第二摩擦层的非摩擦面处；所述第一摩擦层和第二摩擦层以边缘四角处的具备刚性的尼龙绳连接固定。

9.根据权利要求1所述的柔性自驱动振动传感器，其特征在于：所述传感器部为多层的软薄膜结构。