[实用新型]阵列测试器

说明书

本实用新型涉及一种阵列测试器，包括：固定体单元；自由体单元，以能够移动的方式结合于所述固定体单元；压电间隙校正单元，一侧结合于所述固定体单元，另一侧结合于所述自由体单元，所述压电间隙校正单元能够调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离；以及调制器单元，结合于所述自由体单元。

技术领域

本实用新型涉及一种具备压电间隙调整单元的阵列测试器。

背景技术

随着信息化社会的发展，对显示装置的要求也在以多种形态逐渐增多，顺应其，最近液晶显示装置(Liquid Crystal Display；LCD)、等离子显示器(Plasma Display Panel；PDP)、电致发光显示器(Electro Luminescent Display；ELD)、真空荧光显示器(VacuumFluorescent Display；VFD)等各种平板显示装置得到研究和开发。

其中，通过正在急速发展的半导体技术而性能进一步提高的液晶显示装置目前因画质优异、小型化、轻量化及低功率化等优势，替代现有的阴极射线管(Cathode Ray Tube；CRT)并大量使用。

作为平板显示装置之一的液晶显示装置，不仅是可携带的手机、个人数字助理(Personal Digital Assistant；PDA)及便携式多媒体播放器(Portable MultimediaPlayer；PMP)等之类的小型产品，以至到接收广播信号进行显示的TV及计算机的显示器等中大型产品，以多种多样得到使用。

液晶显示装置是如下的显示装置：通过向以矩阵形式排列的液晶单元单独供应基于图像信息的数据信号，调节液晶单元的光透过率，从而使得能够显示所希望的图像。

这种液晶显示装置具备液晶层，该液晶层根据向形成多个像素图案的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，以下称为TFT)基板与形成滤色层的滤色基板之间施加电信号来决定有无光的透过。

此类液晶显示装置会执行对在制造工艺中在TFT基板形成的栅极线或数据线的断线或断开、其它TFT基板上的电路不良等缺陷进行测试的工艺。

另外，在基板上形成的电极的缺陷通过阵列测试装置(array tester)来检查。而且，阵列测试装置包括固定体单元和结合调制器的自由体单元。调制器具备：用于在与基板电极之间形成电场的调制器电极；以及物性根据所述电场的大小而变化的物性变化部。

调制器对基板的一部分实施阵列测试后，向相邻的下一个测试位置移动并重复阵列测试。

另一方面，调制器结合于自由体单元，自由体单元以能够升降的方式结合于固定体单元。由此，调制器与自由体单元一起升降。另外，调制器为了与基板形成电场，在阵列测试过程中需要配置成最大限度地与基板相邻，在移动过程中，为了防止划伤等，需要从基板隔开一定间隔以上。

考虑到这些方面，调制器通常优选的是配置成与作为玻璃面板的基板保持约30～50μm程度的间隔。

另一方面，玻璃面板不以平滑的平面提供，因此需要针对玻璃面板的变形部部分升降调制器，将调制器与玻璃面板之间的间隙保持一定。

为此，现有技术的阵列测试器为了调整玻璃面板与调制器的间隙而包括气浮装置，向玻璃面板直接喷射气体来调整调制器与玻璃面板之间的间隙。

但是，若如上那样向玻璃面板喷射气体，则由于高压气体喷射，导致玻璃面板损伤和产生异物的问题。

另外，当气浮装置通过基于气体喷射的反作用的物理移动来使调制器移动时，产生准确性下降并具有慢响应性的问题。

并且，现有技术的阵列测试器包括气动轴承，该气动轴承是针对基板的延伸方向、即阵列测试器的移动方向的阻尼结构。但是，气动轴承仅对阵列测试器的移动方向抑制振动，因此产生当调制器移动时调制器的稳定化时间增加的问题。

实用新型内容