[实用新型]阵列测试器

权利要求书

1.一种阵列测试器，用于检测形成在基板上的缺陷，其特征在于，包括：

固定体单元；

自由体单元，以能够移动的方式结合于所述固定体单元；

压电间隙校正单元，一侧结合于所述固定体单元，另一侧结合于所述自由体单元，所述压电间隙校正单元能够调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离；以及

调制器单元，结合于所述自由体单元，并且与一个玻璃面板相对。

2.根据权利要求1所述的阵列测试器，其特征在于，

所述压电间隙校正单元包括：

第一结合体，结合于所述固定体单元；

第二结合体，结合于所述自由体单元；

压电致动器，一侧结合于所述第一结合体，另一侧结合于所述第二结合体；以及

传感器，检测所述调制器单元与所述玻璃面板之间的间隙，

所述压电致动器利用与从所述传感器检测到的所述间隙相关的信息，调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离。

3.根据权利要求2所述的阵列测试器，其特征在于，

所述调制器单元包括调制器以及结合所述调制器的体框架，

以与玻璃面板相对的方式，所述体框架安装于所述自由体单元。

4.根据权利要求3所述的阵列测试器，其特征在于，

所述调制器和所述传感器位于与所述玻璃面板相对并具有相同的隔开距离的相同面。

5.根据权利要求3所述的阵列测试器，其特征在于，

所述压电间隙校正单元在所述自由体单元和所述固定体单元安装有多个。

6.根据权利要求1所述的阵列测试器，其特征在于，

在所述自由体单元形成有第一减振部件固定部，在所述固定体单元形成有第二减振部件固定部，

所述自由体单元还包括：减振部件，一侧结合于所述第一减振部件固定部，另一侧结合于所述第二减振部件固定部。

7.根据权利要求6所述的阵列测试器，其特征在于，

所述减振部件包括内侧减振部件和外侧减振部件，

所述第一减振部件固定部包括第一内侧减振部件固定部和第一外侧减振部件固定部，

所述第一外侧减振部件固定部形成于所述自由体单元的外侧边缘部，所述第一内侧减振部件固定部形成于比所述第一外侧减振部件固定部靠自由体单元的内侧处，

所述第二减振部件固定部包括：与所述第一内侧减振部件固定部对应的第二内侧减振部件固定部；以及与所述第一外侧减振部件固定部对应的第二外侧减振部件固定部，

所述内侧减振部件结合于所述第一内侧减振部件固定部和所述第二内侧减振部件固定部，

所述外侧减振部件结合于所述第一外侧减振部件固定部和所述第二外侧减振部件固定部。

8.根据权利要求7所述的阵列测试器，其特征在于，

所述内侧减振部件和所述外侧减振部件在分别结合于所述第一内侧减振部件固定部和所述第一外侧减振部件固定部时，在所述自由体单元升降的方向上具有高度偏差。

9.根据权利要求7所述的阵列测试器，其特征在于，

所述第一外侧减振部件固定部在所述自由体单元的角部形成有四个，所述第一内侧减振部件固定部形成有三个，

所述压电间隙校正单元在所述自由体单元的一侧安装有一个，在所述自由体单元的另一侧安装有两个，

三个所述第一内侧减振部件固定部中的一个形成于在所述自由体单元的另一侧安装的两个压电间隙校正单元之间，三个所述第一内侧减振部件固定部中的两个形成于在所述自由体单元的一侧安装的一个压电间隙校正单元两侧，

三个所述内侧减振部件分别结合于第一内侧减振部件固定部，一个所述内侧减振部件位于两个所述压电间隙校正单元之间，两个所述内侧减振部件位于一个所述压电间隙校正单元两侧。

10.根据权利要求6所述的阵列测试器，其特征在于，

所述减振部件由氟橡胶构成。