[实用新型]一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置有效
申请号: | 202020784613.X | 申请日: | 2020-05-12 |
公开(公告)号: | CN212051637U | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 沈清;李旭光 | 申请(专利权)人: | 无锡奥夫特光学技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 多种 线性 渐变 滤光 镀膜 装置 | ||
本实用新型公开一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置,属于滤光片镀膜技术领域。所述可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置包括工作盘、若干个挡块、夹具体和滑块;所述工作盘上开有若干个镀膜槽;所述夹具体活动连接于所述镀膜槽的一侧,所述挡块固定连接于所述镀膜槽的另一侧,所述滑块能够在所述挡上滑动;所述夹具体上装夹有镜片。该可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置通过调节所述滑块在竖直方向的位置改变所述夹具体与水平面之间的角度,从而调整线性渐变色散系数,通过个镀膜槽,每个镀膜槽的挡块角度不同,就能实现一炉镀制多种线性渐变滤光片,与传统反复校正修正挡板相比节约大量研发资金。
技术领域
本实用新型涉及滤光片镀膜技术领域,特别涉及一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置。
背景技术
渐变滤光片作为一种光谱特性随滤光片表面位置变化的光学薄膜器件;在便携式快速分光,光谱仪线性度校正,光栅二级次光分离截至等方面有着广泛的应用。线性渐变滤光片与传统的棱镜等分光元件相比具有体积小、通道密度大、通道中心波长理论上可以任意设计等优点。研究线性渐变滤光片的镀制方法很有意义。在这方面曾有人设计修正挡板来实现膜厚的渐变。但是当对线性色散系数提出不同的要求时,需要重新校正修正挡板,不同的线性色散系数对应不同的修正挡板,并且一炉只能制备一种线性色散系数的线性渐变滤光片,这无疑是增大了研发投入以及大量资金。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置,以解决现有为实现膜厚的渐变或提高薄膜厚度的均匀性反复校正修正挡板需要投入大量研发资金的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置,包括工作盘、若干个挡块、夹具体和滑块;
所述工作盘上开有若干个镀膜槽;
所述夹具体活动连接于所述镀膜槽的一侧,并能够沿所述镀膜槽的一侧转动;
所述挡块固定连接于所述镀膜槽的另一侧,所述夹具体与所述挡块相向设置;
所述滑块与所述挡块垂直设置,且所述滑块能够在所述挡上滑动;
所述夹具体上装夹有镜片。
可选的,所述挡块沿竖直方向开有若干条滑槽,所述滑槽中穿过有螺栓,并且所述螺栓与所述滑块固定连接,所述滑块能够在所述螺栓的带动下,沿所述滑槽来回移动。
可选的,所述夹具体与所述工作盘之间通过销孔连接,所述夹具体能够绕着所述工作盘转动。
可选的,所述夹具体的另一端挂靠于所述滑块的上表面,所述滑块的上下滑动能够带动所述夹具体的一端上下移动。
在本实用新型中提供了一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置,包括工作盘、若干个挡块、夹具体和滑块;所述工作盘上开有若干个镀膜槽;所述夹具体活动连接于所述镀膜槽的一侧,并能够沿所述镀膜槽的一侧转动;所述挡块固定连接于所述镀膜槽的另一侧,所述夹具体与所述挡块相向设置;所述滑块与所述挡块垂直设置,且所述滑块能够在所述挡上滑动;所述夹具体上装夹有镜片。该可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置通过调节所述滑块在竖直方向的位置改变所述夹具体与水平面之间的角度,从而调整线性渐变色散系数,通过设置多个镀膜槽,每个镀膜槽的挡块角度不同,就能实现一炉镀制多种线性渐变滤光片,与传统反复校正修正挡板相比节约大量研发资金。
附图说明
图1是本实用新型提供的一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置结构示意图;
图2是本实用新型提供的一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置的正视图。
具体实施方式
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