[实用新型]光电导量测系统

说明书

本申请公开了一种光电导量测系统，通过多功能电表提供固定电流或固定电压予待测物；信号采集装置采集待测物在黑暗环境中的暗电流或暗电压；光路装置导引脉冲激光光束至黑暗环境中，使脉冲激光光束照射于待测物；信号采集装置采集待测物在脉冲激光光束照射时的电信号，以取得光电导反应曲线；以及计算装置接收并依据光电导反应曲线与暗电流或暗电压取得待测物的光电导灵敏度、反应时间与载子活期。因此，光电导量测系统可测得待测物的光电导灵敏度、反应时间与载子活期，并可提供极广且极高的时间解析能力。

技术领域

本申请涉及一种量测系统，特别是光电导量测系统。

背景技术

光电导灵敏度(sensitivity)与光电导反应时间对于开发光电半导体材料的科学研究人员及检测光侦测器的效能的业者而言，可说是非常重要的参数。一般而言，欲进行上述参数的量测皆须委托专门的实验室代为执行或者自行购置所有相关配件进行组装与架设，除了耗时与费力之外，光电导量测系统的效能(即时间解析能力)与稳定度也是另一个课题。

进行上述参数的量测时，若是采用一般的直流信号电表进行量测，其最快的取值时间大约为30毫秒(millisecond，ms)，对于实验室开发的半导体材料需短于1微秒(microsecond，μs)的反应时间，乃至高频运作的商业化光侦测器需达到纳秒(nanosecond，ns)等级的取值时间皆是远远不及的。

因此，如何设计出同时符合光电半导体材料开发以及商业化光侦测器的效能检测所需的光电导量测系统成为目前相关业界与学界努力的课题。

实用新型内容

为解决上述先前技术所存在的问题，本申请公开一种光电导量测系统。

首先，本申请公开一种光电导量测系统，其包括：载台、多功能电表、激光产生装置、光路装置、信号采集装置以及计算装置。其中，载台设置在黑暗环境中，用以在黑暗环境中承载并固定待测物；多功能电表用以提供固定电流或固定电压予待测物；激光产生装置用以产生脉冲激光光束；光路装置用以导引脉冲激光光束至黑暗环境中，使脉冲激光光束照射于待测物；信号采集装置用以采集待测物在黑暗环境中的暗电流或暗电压，以及采集待测物在脉冲激光光束照射时的电信号，以取得光电导反应曲线。计算装置连接信号采集装置、激光产生装置与多功能电表，且用以传输供电指令至多功能电表，使其提供固定电流或固定电压予待测物；传输控制指令至激光产生装置，使其产生脉冲激光光束；以及接收并依据光电导反应曲线与暗电流或暗电压取得待测物的光电导灵敏度、反应时间与载子活期。

在一实施例中，激光产生装置包括函数信号产生器与可调变激光器或脉冲激光器，计算装置传输控制指令予函数信号产生器，使其输出周期性方波信号予可调变激光器或脉冲激光器，进而使可调变激光器或脉冲激光器发出具周期性的脉冲激光光束。

在一实施例中，激光产生装置包括激光产生器与电控机械式快门，计算装置传输控制指令予激光产生器与电控机械式快门，使激光产生器输出连续激光光束，电控机械式快门将连续激光光束转换成具周期性的脉冲激光光束。

在一实施例中，光路装置包括至少一光学元件，该至少一光学元件选自反射镜、凸透镜、凹面镜、光纤与光导管所组成的群组。

在一实施例中，信号采集装置为高频示波器或数字电表。