[实用新型]光电导量测系统

权利要求书

1.一种光电导量测系统，其特征在于，包括：

载台，设置在黑暗环境中，用以在该黑暗环境中承载并固定待测物；

多功能电表，用以提供固定电流或固定电压予该待测物；

激光产生装置，用以产生脉冲激光光束；

光路装置，用以导引该脉冲激光光束至该黑暗环境中，使该脉冲激光光束照射于该待测物；

信号采集装置，用以采集该待测物在该黑暗环境中的暗电流或暗电压，以及采集该待测物在该脉冲激光光束照射时的电信号，以取得光电导反应曲线；以及

计算装置，连接该信号采集装置、该激光产生装置与该多功能电表，用以传输供电指令至该多功能电表，使其提供该固定电流或该固定电压予该待测物；传输控制指令至该激光产生装置，使其产生该脉冲激光光束；以及接收并依据该光电导反应曲线与该暗电流或该暗电压取得该待测物的光电导灵敏度、反应时间与载子活期。

2.根据权利要求1所述的光电导量测系统，其特征在于，该激光产生装置包括函数信号产生器与可调变激光器或脉冲激光器，该计算装置传输该控制指令予该函数信号产生器，使其输出周期性方波信号予该可调变激光器或该脉冲激光器，进而使该可调变激光器或该脉冲激光器发出具周期性的该脉冲激光光束。

3.根据权利要求1所述的光电导量测系统，其特征在于，该激光产生装置包括激光产生器与电控机械式快门，该计算装置传输该控制指令予该激光产生器与该电控机械式快门，使该激光产生器输出连续激光光束，该电控机械式快门将该连续激光光束转换成具周期性的该脉冲激光光束。

4.根据权利要求1所述的光电导量测系统，其特征在于，该光路装置包括至少一光学元件，该至少一光学元件选自反射镜、凸透镜、凹面镜、光纤与光导管所组成的群组。

5.根据权利要求1所述的光电导量测系统，其特征在于，该信号采集装置为高频示波器或数字电表。

6.根据权利要求1所述的光电导量测系统，其特征在于，该光电导量测系统还包括：

该激光产生装置，还用以当接收来自该计算装置的切换指令时，产生连续激光光束；

显微聚焦装置，用以接收并导引该连续激光光束，使该连续激光光束聚焦为激光光点，该激光光点持续地照射在该待测物上，进而使该待测物达到稳定状态；

取像装置，用以拍摄该激光光点照射在该待测物上的影像，并使该计算装置记录该激光光点照射在该待测物上的照射位置；

移动装置，用以微米等级调整该载台，使该载台沿着水平方向移动，使该激光光点照射在该待测物上不同的该照射位置；以及

量测装置，连接该计算装置，用以量测该待测物上不同的该照射位置的光电流值，使该计算装置依据该激光光点照射在该待测物上的每一该照射位置及其对应量测到的该光电流值计算该待测物的载子扩散长度，并依据该待测物的该载子扩散长度与该载子活期推算出该待测物的载子漂移率。

7.根据权利要求6所述的光电导量测系统，其特征在于，该激光光点的尺寸大小为0.1微米至5微米。

8.根据权利要求6所述的光电导量测系统，其特征在于，该取像装置为电荷耦合器件镜头或互补金属氧化物半导体镜头。

9.根据权利要求6所述的光电导量测系统，其特征在于，该量测装置为电流计或另一多功能电表。

10.根据权利要求6所述的光电导量测系统，其特征在于，该计算装置依据该激光光点照射在该待测物上的每一该照射位置及其对应量测到的该光电流值输出光电流对照射位置的量测曲线图。