[实用新型]气体换装装置

权利要求书

1.一种气体换装装置，其特征在于，包括：

至少一料品容置器，包含一第一控制阀和一壳体，所述料品容置器上端连接一开关，侧边连接一第一出气管，所述第一出气管一端与所述料品容置器连接，且依序设置有一压力表与一第二控制阀，于所述压力表与所述第二控制阀之间连接一第二出气管，所述第二出气管上设置有一第三控制阀；以及

至少一柜体，其内设置有至少一扣合槽，所述扣合槽连接一施力件，透过控制所述施力件可驱动所述扣合槽与所述料品容置器顶端相连接。

2.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，更包含一抽气装置。

3.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述柜体更包括一固定件，所述固定件设置于所述料品容置器侧边。

4.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述料品容置器容置有一特定料品，所述特定料品为SiH₄、NH₃、B₂H₆、H₂、CF₄、CHF₃、O₂、SF₆任一者。

5.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述柜体顶侧上更装设有一气体处理装置。

6.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述柜体内部更装设有一警报装置。

7.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述柜体的底端装设有一换气口。

8.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述柜体底部设有一升降装置。

9.根据权利要求1所述的气体换装装置，其特征在于，所述料品容置器上设置一料品信息标签；所述柜体上设置有一柜体信息标签。

10.根据权利要求9所述的气体换装装置，其特征在于，所述料品信息标签与所述柜体信息标签皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码、二维条形码、汉信码、QR码、矩阵条形码、RFID标签、NFC卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。