[实用新型]一种高气密性治具腔体有效
| 申请号： | 202020531910.3 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN211477513U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘波 | 申请（专利权）人： | 无锡升滕半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 蔡赵 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气密性 治具腔体 | ||
1.一种高气密性治具腔体，其特征在于：包括治具(1)本体，所述治具(1)内部设有检测腔(2)；所述治具(1)上设置有与被检测装置相连接的连接孔槽(3)，以及与抽真空装置相连通的抽气孔(5)；所述治具(1)设置有封合端面(6)，所述封合端面(6)设置有与所述检测腔(2)连通的封合孔(7)，所述封合孔(7)上覆设有封合板(8)，所述封合板(8)和所述封合端面(6)间设置有密封垫圈(9)；所述封合端面(6)的一端设置有转动轴(10)，所述封合板(8)的一端设置有弧形内凹的转动槽(11)；所述封合板(8)的一端通过所述转动槽(11)压抵在所述转动轴(10)上，并朝所述封合端面(6)转动，所述封合板(8)的另一端通过螺栓(12)与所述封合端面(6)相紧固。
2.根据权利要求1所述的一种高气密性治具腔体，其特征在于：所述转动轴(10)为偏心轴；所述转动轴(10)的外轴面上设置有方形槽(13)，所述转动槽(11)内设置有方形块(14)，所述方形槽(13)和所述方形块(14)配合定位。
3.根据权利要求2所述的一种高气密性治具腔体，其特征在于：所述封合端面(6)为斜面，所述转动轴(10)设置在所述封合端面(6)的斜向较低端，所述螺栓(12)设置在所述封合端面(6)的斜向较高端。
4.根据权利要求2所述的一种高气密性治具腔体，其特征在于：所述方形槽(13)的深度大于所述方形块(14)的高度。
5.根据权利要求2所述的一种高气密性治具腔体，其特征在于：所述封合孔(7)的孔口处设置有辅助定位块(15)，所述辅助定位块(15)靠近转动轴(10)的一侧为弧形，且弧形半径随所述辅助定位块(15)的高度增加呈逐渐减小的趋势；所述封合板(8)上对应设置有辅助定位槽(16)。
6.根据权利要求5所述的一种高气密性治具腔体，其特征在于：所述辅助定位槽(16)的宽度大于所述辅助定位块(15)的宽度。
7.根据权利要求1所述的一种高气密性治具腔体，其特征在于：所述封合板(8)为透明板体。
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