[实用新型]一种镀膜机的真空度测量结构

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机的真空度测量结构，包括安装板、托板和机壳，所述安装板顶部表面安装有托板，所述托板顶部表面镶嵌连接有机壳，所述机壳内腔安装有真空泵，所述真空泵一侧安装有智能真空表，所述机壳左侧壁表面镶嵌连接有进气管，所述进气管一端串接有过滤机构，且过滤机构输出端与智能真空表输入端相连，所述机壳右侧壁表面镶嵌连接有排气管，本实用新型通过真空泵和智能真空表，可对镀膜机进行抽真空处理，并且触摸一体机与蜂鸣器相互配合，又能实时监测报警功能，提高了设备的使用安全，通过过滤机构，防止空气中的杂质损坏智能真空表，提高了智能真空表的使用安全。

技术领域

本实用新型涉及测量设备技术领域，具体为一种镀膜机的真空度测量结构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

但是，现有的用于镀膜机的真空度测量结构存在以下缺点：

1、现有的镀膜机的真空度测量结构在使用时，不便于其内部进行抽真空，并且工作效率低下，同时现有镀膜机的真空度测量结构自身又不具有报警功能，从而容易在抽真空时发生危险，不利于工作人员操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜机的真空度测量结构，以解决上述背景技术中现有的镀膜机的真空度测量结构在使用时，不便于其内部进行抽真空，并且工作效率低下，同时现有镀膜机的真空度测量结构自身又不具有报警功能，从而容易在抽真空时发生危险，不利于工作人员操作。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜机的真空度测量结构，包括安装板、托板和机壳，所述安装板顶部表面安装有托板，所述托板顶部表面镶嵌连接有机壳，所述机壳内腔安装有真空泵，所述真空泵一侧安装有智能真空表，所述机壳左侧壁表面镶嵌连接有进气管，所述进气管一端串接有过滤机构，且过滤机构输出端与智能真空表输入端相连，所述机壳右侧壁表面镶嵌连接有排气管，所述机壳表面安装有触摸一体机，所述触摸一体机一侧安装有蜂鸣器，通过真空泵和智能真空表，可对镀膜机进行抽真空处理，并且触摸一体机与蜂鸣器相互配合，又能实时监测报警功能，提高了设备的使用安全，通过过滤机构，防止空气中的杂质损坏智能真空表，提高了智能真空表的使用安全。

优选的，所述排气管表面串接有电磁阀门，所述排气管一端与真空泵输出端相连，通过电磁阀门，可关闭排气管排气，防止气体回流。

优选的，所述过滤机构由过滤盒、无纺布和过滤网板组成，所述过滤盒内腔两侧壁表面均安装有无纺布，所述无纺布一侧安装有过滤网板，从而能够对输入至智能真空表中的气体进行过滤，进而能够防止空气中的杂质损坏智能真空表，以便于能够提高智能真空表的使用安全。

优选的，所述进气管和排气管表面均串接有限位圈，且限位圈设置于机壳外壁表面，从而能够保护进气管和排气管与机壳连接强度，进而防止进气管和排气管损坏，提高了设备的使用安全和寿命。

优选的，所述机壳顶部表面开设有散热窗，所述散热窗表面安装有防尘网，通过散热窗，从而能够起到散热效果，保护了真空泵和智能真空表使用安全，同时防尘网，又能防止外界灰尘倒灌至机壳内部，提高了机壳内部的卫生安全。

优选的，所述触摸一体机通过导线分别与真空泵、智能真空表、电磁阀门和蜂鸣器电性相连。

本实用新型提供了一种镀膜机的真空度测量结构，具备以下有益效果：