[实用新型]一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备

说明书

本实用新型提供一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，属于磁控溅射技术领域，该内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备包括一个密闭舱体，所述密闭舱体两侧外壁分别焊接有第一密封门和第二密封门，所述密闭舱体顶部内壁分别焊接有两个喷码组件，所述密闭舱体两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体内部和两侧。本实用新型可以形成流水线作业，加快工作效率，同时可以对喷码装置进行相应设置，让喷码装置可以对基材进行不同形状的镀膜作业，当需要对喷码组件内部进行清理和更换靶材时，可通过打开顶盖来完成对喷码组件内部进行清理和更换靶材的工作。

技术领域

本实用新型属于磁控溅射技术领域，具体涉及一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备。

背景技术

随着科学技术的发展，真空镀膜技术得到了飞速的发展。薄膜技术可以改变工件表面性能，提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能，从而延长工件的使用寿命。薄膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备，具有很高的经济价值。磁控溅射技术可以制备各种超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜以及各种具有特殊功能的薄膜，在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。

经过检索发现，在授权公告号为CN208701195U的中国专利中公开了一种真空溅射镀膜设备，包括密闭腔体，所述密闭腔体内设有基板及安装所述基板的托盘，还包括位于基板上方的靶材，所述靶材内设有提供磁场的永磁铁，所述靶材将靶材材料沉积在基板上的沉积范围为溅射范围，所述靶材的数量大于等于2个，各个靶材的溅射范围部分重叠或全部重叠。

但是上述技术方案由于只能为基材表面简单的镀上一层膜，无法为基材表面镀上一些不同形状的膜，而且该设备同时只能对一个基材进行镀膜，从而降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，旨在解决现有技术中的无法为基材表面镀上一些不同形状的膜的问题和只能同时对一个基材进行镀膜的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括一个密闭舱体，所述密闭舱体顶部内壁分别焊接有两个喷码组件，所述密闭舱体两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体内部和两侧，所述传送装置顶部外壁分别焊接有两个基座。

为了使得靶材的更换和对喷码组件内部的清理变得方便，作为本实用新型一种优选的，所述喷码组件包括保护壳、顶盖、永磁铁、支撑板、靶材、靶材固定柱和喷码头，所述保护壳的顶部外壁焊接于密闭舱体的顶部内壁上，所述顶盖通过合页固定于保护壳的顶部内壁，所述支撑板通过螺丝固定于保护壳两侧内壁，所述永磁铁通过螺纹固定于支撑板顶部外壁，所述靶材固定柱为中空结构，所述靶材固定柱底部外壁焊接于保护壳底部内壁，所述靶材通过螺纹固定于靶材固定柱顶部外壁，所述喷码头通过螺纹固定于靶材固定柱底部外壁。

为了避免传送装置因某些原因产生晃动之后影响镀膜的准确性，作为本实用新型一种优选的，所述所述传送装置包括第一支撑架、第二支撑架、第三支撑架、六个转动电机、三个传送带和过渡感应板，所述第二支撑架底部通过螺丝固定于密闭舱体底部内壁，六个所述转动电机分别通过螺丝固定于第一支撑架的顶部侧壁、第二支撑架的顶部侧壁和第三支撑架的顶部侧壁，所述三个传送带分别套接于六个转动电机的输出轴上，所述过渡感应板焊接于第二支撑架顶部外壁。

为了当设备内部出现一些问题时，可以及时发现及时处理，避免出现一些不必要的损失，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体一侧外壁通过卡槽和密封条固定有钢化玻璃。

为了让密闭舱体内部变得明亮，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体顶部内壁通过螺丝固定有照明灯。

为了有效保护密闭舱体内的真空环境，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体相对两侧外壁开口处分别焊接有第一过渡仓和第二过渡仓。