[实用新型]衬底键合用对准定位夹具

说明书

本实用新型涉及一种对准定位夹具，尤其是一种衬底键合用对准定位夹具，属于晶圆键合定位的技术领域。在下压头上设置衬底切边弹性销以及衬底外缘弹性销，在底座上设置弹性阻尼旋转机构，利用弹性切边弹性销、衬底外缘弹性销以及弹性阻尼旋转机构的衬底挡片与衬底的相应接触配合，能实现将衬底锁定在下压头上，实现两块衬底的对准定位，为后续衬底的键合提供保障，提高键合效率以及键合良率，使用方便，安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种对准定位夹具，尤其是一种衬底键合用对准定位夹具，属于晶圆键合定位的技术领域。

背景技术

在对硅晶圆等衬底键合时，需要保证两键合的衬底正对准。由于衬底呈圆片状，在对两衬底键合时，存在衬底在对准过程中转动的情况，从而导致键合的衬底无法确保有效对准，影响键合效率，也导致键合的良率较差。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种衬底键合用对准定位夹具，其结构紧凑，能有效实现待键合衬底的对准定位，提高键合效率以及键合良率，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述衬底键合用对准定位夹具，包括底座，在所述底座的上方设置用于间隔两个待键合衬底的夹具体组件，在所述夹具体组件的内圈设置用于支撑衬底的下压头；

在所述下压头上设置弹性销组，在所述下压头的外侧设置弹性阻尼旋转机构，所述弹性阻尼旋转机构装配于底座上；所述弹性销组包括衬底切边弹性销以及设置于衬底切边弹性销两侧的衬底外缘弹性销；衬底支撑于下压头上时，衬底切边弹性销能与衬底的切边对应，衬底外缘弹性销位于衬底的外缘外侧；

所述弹性阻尼旋转机构包括衬底挡片以及与所述衬底挡片适配的挡片连接体，所述衬底挡片通过挡片连接体能在底座上方转动，衬底挡片转动后能与衬底的外缘接触，衬底挡片与衬底外缘的紧密接触区位于衬底切边弹性销的正对侧；通过衬底挡片与衬底外缘的紧密接触，能使得衬底的切边与衬底切边弹性销靠齐，且衬底的外缘与衬底外缘弹性销紧密接触，以将衬底锁定在下压头上。

在下压头上设置两个衬底切边弹性销；在下压头的正上方设置上压头，通过上压头与下压头配合，能将下压头上两块正对准的衬底压紧贴合；在将两块衬底压紧贴合时，上压头能将弹性销组以及衬底挡片向靠近底座的方向压缩。

所述挡片连接体包括底座连接板以及设置于所述底座连接板上的挡片连接套筒，挡片连接套筒通过底座连接板能安装于底座上；

在所述挡片连接套筒内设置挡片套筒弹簧以及位于所述挡片套筒弹簧上方的挡片导向轴，衬底挡片通过台阶螺丝固定于挡片导向轴位于挡片连接套筒外的端部，挡片导向轴位于挡片连接套筒内的下部套有导向轴衬套，在挡片连接套筒的外壁上设置用于锁定导向轴衬套的衬套锁定螺丝，挡片导向轴在挡片连接套筒内向靠近挡片套筒弹簧运动时，能压缩所述挡片套筒弹簧，且挡片导向轴能相对衬套锁定螺丝运动。

挡片导向轴位于挡片连接套筒内的端部设置轴挡块，所述轴挡块通过轴挡块连接螺丝固定在挡片导向轴的端部，挡片导向轴通过轴挡块能与挡片套筒弹簧接触配合。

所述夹具体组件包括夹具环板以及设置于所述夹具环板上的衬底间隔调节机构，所述衬底间隔调节机构包括用于间隔衬底的衬底垫片以及用于调节衬底垫片位置状态的垫片位置调节机构，衬底垫片位于两衬底之间时，能对衬底进行间隔，通过衬底间隔调节机构能拉动衬底垫片从衬底间退出。

所述衬底间隔调节机构包括能在夹具环板上滑动的垫片滑块以及能拉动垫片滑块在夹具环板上运动的滑块拉簧，在所述垫片滑块的头端端部设置垫片连块，衬底垫片通过垫片连块能与垫片滑块连接；

还包括与垫片滑块适配的滑块插销以及与所述滑块插销适配的插销座，垫片滑块上设置与滑块插销适配的滑块插销孔，滑块插销孔贯通垫片滑块，且滑块插销孔的长度方向与垫片滑块在夹具环板上滑动方向相一致；垫片滑块贯穿插销座，所述插销座固定在夹具环板上，垫片滑块能相对插销座运动；