[实用新型]氮封系统

说明书

本实用新型公开了一种氮封系统，包括：超纯水箱、超纯水进管和超纯水出管，所述超纯水进管的出水端和所述超纯水出管的进水端均与所述超纯水箱内部连通，所述超纯水箱的底部还设置有排超纯水管；供氮气管路，所述供氮气管路的出气端与所述超纯水箱内部连通，所述供氮气管路上设置有氮封阀；液封装置，所述液封装置与所述超纯水箱连接以使所述超纯水箱内气压能够稳定在预设承压范围内。通过氮封阀使得密封氮气量控制稳定，操作简单实用性强，液封加氮封双重密封保障了超纯水水质更加稳定。

技术领域

本实用新型涉及水处理技术领域，更具体地说，涉及一种氮封系统。

背景技术

近来由于半导体制程对设计规则之需求朝更精密更细小的趋势发展，因而对超纯水水质的要求也越趋严格。超纯水一般采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm(25℃)。

由于空气中含有二氧化碳、细菌、尘埃等杂质，而超纯水为纯的溶剂，对这些杂质的溶解能力很强，故一旦超纯水与空气接触，就会使其电阻率迅速下降，实践证明15MΩ.cm以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.cm，3分钟以后就会下降到2MΩ.cm左右，因此超纯水的储存容器应避免水体与空气的接触。

综上所述，如何有效地防止超纯水二次污染，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种氮封系统，该氮封系统的结构设计可以有效地防止超纯水二次污染。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种氮封系统，包括：

超纯水箱、超纯水进管和超纯水出管，所述超纯水进管的出水端和所述超纯水出管的进水端均与所述超纯水箱内部连通，所述超纯水箱的底部还设置有排超纯水管；

供氮气管路，所述供氮气管路的出气端与所述超纯水箱内部连通，所述供氮气管路上设置有氮封阀；

液封装置，所述液封装置与所述超纯水箱连接以使所述超纯水箱内气压能够稳定在预设承压范围内。

优选地，上述氮封系统中，所述超纯水进管上设置有比例调节阀；

所述氮封阀为自立式调节阀。

优选地，上述氮封系统中，所述超纯水箱内设置有液位传感器；

所述氮封系统根据所述液位传感器检测到的液位调整所述比例调节阀；所述液位传感器检测到的液位达到高液位时关闭所述比例调节阀；

该氮封系统还包括报警装置，所述液位传感器检测到的液位达到超高液位时所述报警装置报警。

优选地，上述氮封系统中，所述超纯水出管上串接有变频泵和压力计，所述压力计位于所述变频泵的下游；或者，

所述超纯水出管包括两条并联的出管支路，且每个出管支路上均串接有变频泵和压力计，所述压力计位于所述变频泵的下游。

优选地，上述氮封系统中，还包括第一旁通管路，所述第一旁通管路的两端均与所述供氮气管路连通，且所述第一旁通管路上设置有阀门；

所述供氮气管路上还设置有第一减压阀和过滤器。

优选地，上述氮封系统中，还包括第二旁通管路，所述第二旁通管路的两端均与所述超纯水进管连通，且所述第二旁通管路上设置有阀门；

所述超纯水进管上还串接有球阀或蝶阀。

优选地，上述氮封系统中，所述超纯水箱上还设置有压力传感器。

优选地，上述氮封系统中，所述液封装置包括：