[实用新型]氮封系统

权利要求书

1.一种氮封系统，其特征在于，包括：

超纯水箱(06)、超纯水进管(03)和超纯水出管(07)，所述超纯水进管(03)的出水端和所述超纯水出管(07)的进水端均与所述超纯水箱(06)内部连通，所述超纯水箱(06)的底部还设置有排超纯水管；

供氮气管路(01)，所述供氮气管路(01)的出气端与所述超纯水箱(06)内部连通，所述供氮气管路(01)上设置有氮封阀；

液封装置(05)，所述液封装置(05)与所述超纯水箱(06)连接以使所述超纯水箱(06)内气压能够稳定在预设承压范围内。

2.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，所述超纯水进管(03)上设置有比例调节阀；

所述氮封阀为自立式调节阀(02)。

3.根据权利要求2所述的氮封系统，其特征在于，所述超纯水箱(06)内设置有液位传感器；

所述氮封系统根据所述液位传感器检测到的液位调整所述比例调节阀；

所述液位传感器检测到的液位达到高液位时关闭所述比例调节阀；

该氮封系统还包括报警装置，所述液位传感器检测到的液位达到超高液位时所述报警装置报警。

4.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，所述超纯水出管(07)上串接有变频泵(08)和压力计，所述压力计位于所述变频泵(08)的下游；或者，

所述超纯水出管(07)包括两条并联的出管支路，且每个出管支路上均串接有变频泵(08)和压力计，所述压力计位于所述变频泵(08)的下游。

5.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，还包括第一旁通管路，所述第一旁通管路的两端均与所述供氮气管路(01)连通，且所述第一旁通管路上设置有阀门；

所述供氮气管路(01)上还设置有第一减压阀和过滤器。

6.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，还包括第二旁通管路，所述第二旁通管路的两端均与所述超纯水进管(03)连通，且所述第二旁通管路上设置有阀门；

所述超纯水进管(03)上还串接有球阀或蝶阀。

7.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，所述超纯水箱(06)上还设置有压力传感器(04)。

8.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，所述液封装置(05)包括：

第一密封容器和设置在所述第一密封容器上的进气管(1)和连通管(2)，其中，所述进气管(1)的底端伸入所述第一密封容器内，顶端位于所述第一密封容器外用于连通大气压；

所述连通管(2)的两端，用于连通所述第一密封容器的顶部气压和超纯水箱(06)内气压；

第二密封容器和设置在所述第二密封容器上的排水管，所述排水管的底端位于所述第二密封容器外，顶端伸入所述第二密封容器内；

中心管(5)，所述中心管(5)的底端位于所述第二密封容器内，顶端位于所述第一密封容器内，并且，在竖直方向上：所述中心管(5)的顶端所在高度高于所述进气管(1)的底端所在高度，所述中心管(5)的底端所在高度低于所述排水管的顶端所在高度。

9.根据权利要求8所述的氮封系统，其特征在于，所述中心管(5)的顶端外，套设有第一套管(4)，所述第一套管(4)与所述中心管(5)之间具有连通间隙，并且，所述第一套管(4)的顶端所在高度高于所述中心管(5)的顶端所在高度；

所述排水管的顶端外，套设有第二套管(7)，所述第二套管(7)与所述排水管之间具有连通间隙，并且，所述第二套管(7)的顶端所在高度高于所述排水管的顶端所在高度。

10.根据权利要求8所述的氮封系统，其特征在于，所述第一密封容器上还设置有补水口(3)；

所述补水口(3)设置在所述第一密封容器的顶端。