[实用新型]一种电化学沉积装置

说明书

本实用新型实施例提供了一种电化学沉积装置，包括：第一槽体，所述第一槽体用于进行电化学沉积，所述第一槽体内设有相对间隔设置的阳极和阴极，所述阳极和所述阴极之间的间距可调；第二槽体，所述第二槽体与所述第一槽体相连，所述第一槽体内的溶液可流入所述第二槽体，所述第二槽体的出液口连接有过滤器，所述过滤器用于对所述溶液进行过滤；以及喷流系统，所述喷流系统的进液端与所述过滤器连接，所述喷流系统的出液端设置在所述第一槽体内。本实用新型实施例所述的电化学沉积装置可以提高镀膜的厚度均匀性，而且，溶液净化效果较好，可以提高镀膜的质量。

技术领域

本实用新型涉及电化学技术领域，特别是涉及一种电化学沉积装置。

背景技术

电化学沉积是指在外电场作用下电流通过电解质溶液中正负离子的迁移并在电极上发生得失电子的氧化还原反应而形成镀膜的技术。由于电化学沉积具加工设备简单、工艺成本较低的优点，因此，被广泛的应用于形成镀膜及其叠层。

然而，现有的电化学沉积装置在进行电化学沉积过程中，由于电化学沉积装置存在溶液净化效果较差、温度场分布不均匀等缺陷，因此，很容易导致电化学沉积形成的镀膜相应存在厚度不均匀和质量较差的缺陷。

实用新型内容

鉴于上述问题，提出了本实用新型实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种电化学沉积装置。

为了解决上述问题，本实用新型实施例公开了一种电化学沉积装置，包括：

第一槽体，所述第一槽体用于进行电化学沉积，所述第一槽体内设有相对间隔设置的阳极和阴极，所述阳极和所述阴极之间的间距可调；

第二槽体，所述第二槽体与所述第一槽体相连，所述第一槽体内的溶液可流入所述第二槽体，所述第二槽体的出液口连接有过滤器，所述过滤器用于对所述溶液进行过滤；以及

喷流系统，所述喷流系统的进液端与所述过滤器连接，所述喷流系统的出液端设置在所述第一槽体内。

可选地，所述电化学沉积装置还包括：支架，所述支架活动连接于所述第一槽体，所述阴极连接于所述支架。

可选地，所述电化学沉积装置还包括：固定于所述第一槽体的驱动装置，所述驱动装置与所述支架连接，所述驱动装置用于驱动所述支架沿第一方向移动，其中，所述阴极为长条形阴极，所述第一方向与所述阴极的长度方向平行。

可选地，所述驱动装置包括：电机、转动盘以及连接杆；其中，

所述电机固定在所述第一槽体外，所述电机的输出端与所述转动盘连接，所述电机用于驱动所述转动盘转动；

所述连接杆的一端与所述转动盘铰接，另一端与所述支架铰接，所述转动盘的转动带动所述连接杆转动，所述连接杆的转动驱动所述支架沿所述第一方向移动。

可选地，所述支架上设置有调节杆，所述阴极与所述调节杆滑动连接，所述阴极在所述调节杆上的滑动可调节所述阳极和所述阴极之间的间距。

可选地，所述第一槽体内还设有：用于装载样品的板架，所述板架与所述阴极固定连接。

可选地，所述电化学沉积装置还包括：遮挡板，所述遮挡板固定于所述第一槽体内且位于所述阴极和所述阳极之间，所述遮挡板上设置有多个通孔。

可选地，所述喷流系统包括：喷流管路、喷流泵以及喷流管；其中，

所述喷流管路分别与所述过滤器、所述喷流管连接，用于溶液流动；

所述喷流泵与所述喷流管道连接，用于驱动所述喷流管路内的溶液流向所述喷流管；

所述喷流管设置在所述阴极和所述阳极之间。