[实用新型]一种晶圆片清洗机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆片清洗机，包括机体，所述机体的四周设有正压防护板，所述机体内部位于正压防护板内侧设有防水隔板，所述机体的顶部设有出气孔，所述机体的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸，所述分隔气缸的输出轴均固定有分隔板，且分隔板位于防水隔板围成的区域内侧，所述分隔板将防水隔板围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室，所述机体内部位于正压防护板和防水隔板之间对称固定有导轨，所述导轨上滑动连接有输送车，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室内均安装有刷洗装置，此晶圆片清洗机整个清洗过程自动化实现，不需要人工参与，清洗效果好，清洗效率比较高。

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆片清洗机。

背景技术

晶圆制造工艺复杂，拥有很多工序，不同工序中使用了不同的化学材料，通常会在晶圆表面残留化学剂、颗粒、金属等杂质，如果不及时清洗干净，会随着生产制造逐渐累积，影响最终的质量，人工清洗的清洗效果不好，而且清洗不彻底有残留。为此，我们提出一种晶圆片清洗机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆片清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片清洗机，包括机体，所述机体的四周设有正压防护板，所述机体内部位于正压防护板内侧设有防水隔板，所述机体的顶部设有出气孔，所述机体的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸，所述分隔气缸的输出轴均固定有分隔板，且分隔板位于防水隔板围成的区域内侧，所述分隔板将防水隔板围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室，所述机体内部位于正压防护板和防水隔板之间对称固定有导轨，所述导轨上滑动连接有输送车。

优选的，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室内均安装有刷洗装置，所述刷洗装置包括安装板、转轴、毛刷、从动齿轮、电机座、伺服电机和主动齿轮，所述机体内固定有安装板，所述安装板内嵌入转动连接有若干个转轴，所述转轴的底端套设有毛刷，所述转轴的顶端均固定有从动齿轮，且相邻的从动齿轮之间相互啮合，所述安装板的顶部固定有电机座，所述电机座的顶部固定有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定有主动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮啮合连接。

优选的，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室的内部均固定有连接板，所述连接板内均嵌入固定有若干个管道，且管道的底端呈密封状，所述管道的侧壁设有若干个通孔，所述机体内部安装有水泵和过滤器，所述水泵的进水端通过水管与清洗剂洗涤室底部的出水口连通，所述水泵的出水端通过水管与过滤器的进水端连通，所述过滤器的出水端通过水管与连通清洗剂洗涤室内的管道连通。

优选的，所述输送车包括收水板、端板、胶辊、滑块、第一减速电机、皮带轮、皮带、第二减速电机、驱动齿轮和第二减速电机，所述收水板的两端均固定有端板，所述收水板内侧设有四个胶辊，且胶辊的两端分别与两个端板转动连接，所述胶辊的侧壁设有限位槽，且限位槽正对毛刷之间的缝隙，所述端板的一侧固定有滑块，且滑块滑动连接在导轨上，其中一个滑块顶部固定有第一减速电机，所述第一减速电机的输出轴和胶辊的一端均固定有皮带轮，且皮带轮之间通过皮带传动连接，其中一个所述滑块一侧固定有第二减速电机，所述第二减速电机的输出轴固定有驱动齿轮，所述机体设有条形齿轮带，且条形齿轮带的两端均与机体固定连接，所述条形齿轮带与驱动齿轮啮合连接。

优选的，所述导轨的外侧安装有风琴罩。

优选的，所述机体的两端均设有密封门，所述机体内部固定有密封气缸，所述密封气缸的输出轴端部与密封门的顶端固定连接。

优选的，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室的底部均倾斜设置。

优选的，所述第一减速电机和第二减速电机外侧罩设有防护罩。

优选的，所述机体侧壁正对清洗剂洗涤室处设置清洗剂加注通道。