[实用新型]一种可调节真空吸附平台大小的三轴装置

权利要求书

1.一种可调节真空吸附平台大小的三轴装置，包括基座，其特征在于：基座的上表面上前侧及后侧沿左右水平方向分别设有一根第一导轨，两根第一导轨上设有沿两根第一导轨左右滑动的第一滑座，基座上侧面安装有直线电机，直线电机的定子沿左右方向设置在基座上表面且直线电机的定子位于两根第一导轨之间，直线电机的动子与第一滑座相固定且位于直线电机的定子的正上方，第一滑座的上侧固定有安装架，安装架内安装有用于真空吸附的真空吸附机构。

2.根据权利要求1所述的一种可调节真空吸附平台大小的三轴装置，其特征在于：所述真空吸附机构包括基板、第一丝杆和第二丝杆，第一真空吸附平台、第二真空吸附平台和第三真空吸附平台，基板固定在安装架内，基板上左部前侧及后侧沿左右水平方向分别设有一根第二导轨，基板上右部前侧及后侧沿左右水平方向分别设有一根第三导轨，第一真空吸附平台通过第二滑座沿第二导轨左右滑动，第二真空吸附平台通过安装座固定在基板的中部，第三真空吸附平台通过第三滑座沿第三导轨左右滑动，基板上表面中部安装有一驱动电机，驱动电机的输出轴上安装有第一同步轮，第二丝杆的左部安装有第二同步轮，第一同步轮与第二同步轮上套设有同步带，第二丝杆的左端部通过联轴器与第一丝杆的右端部相固定，第一丝杆的左端通过第一丝杆连接块与第一滑座相固定，第二丝杆的右端通过第二丝杆连接块与第二滑座相固定，第一丝杆的螺纹与第二丝杆的螺纹相向设置，第一真空吸附平台的与第二真空吸附平台的左部相适配，第二真空吸附平台的右部与第三真空吸附平台相适配，第一真空吸附平台、第二真空吸附平台及第三真空吸附平台沿左右方向位于同一条直线上。