[实用新型]一种可连续送丝的坩埚有效
申请号: | 202020382026.8 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN212451608U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 郭志辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市烈变科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙) 44482 | 代理人: | 李绍飞 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 连续 坩埚 | ||
本实用新型公开了一种可连续送丝的坩埚,包括坩埚本体,坩埚本体的顶部设置凹腔,该可连续送丝的坩埚还包括嵌套锅、坩埚盖和送丝避让通道,与凹腔相配合的嵌套锅通过凹腔与坩埚本体卡接连接,嵌套锅包含锅腔和与锅腔连通的锅开口,与嵌套锅相配合的用于封堵锅开口坩埚盖盖设在嵌套锅的锅开口处用于封堵锅开口,坩埚盖的中部设置与锅腔连通的送丝避让通道。本实用新型坩埚盖减少了坩埚镀膜过程的飞溅;嵌套锅使坩埚内物料减少,大大降低了坩埚的预热时间。
技术领域
本实用新型涉及一种可连续送丝的坩埚,属于真空蒸发镀膜(PVD),如包装应用的镀铝膜,食品包装袋,药包等所使用的薄膜表面包含有镀层的真空蒸发镀膜技术领域。
背景技术
真空蒸发镀膜设备大都以蒸发舟或坩埚作为其蒸发源。其中:
蒸发舟作为蒸发源时,可以通过送丝装置将被蒸发的金属如铝丝,铜丝等将金属连续的送往蒸发舟表面,在蒸发舟两端施加以电流使蒸发舟发热,使被蒸发金属受热蒸发,从而实现被蒸镀金属连续供料的功能。但是,由于蒸发舟表面在使用过程中,容易形成被金属液体刻蚀形成的沟壑,这样就会导致蒸发舟在蒸镀金属材料时容易形成飞溅,从而在被蒸镀材料(一般为高分子塑料薄膜)表面形成穿孔,降低产品优率。
传统的坩埚作为蒸发源时,一般是将被蒸发的金属如铝粒,铜粒放置于坩埚中,一般采用中频感应加热的方式将坩埚和置于其中的物料进行加热,使被蒸发金属受热蒸发。但是,对于坩埚而言,每次都要计算好被蒸发物料的用量,且只能间歇投料,如果该批次物料用完时则必须停止镀膜,或者蒸镀过程发生其它异常而该批次物料未使用完时,设备开仓后该批次物料就会浪费,不能实现连续送丝,降低物料的利用率。
为了解决上述技术问题,特提出一种新的技术方案。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可连续送丝的坩埚,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可连续送丝的坩埚,所述包括坩埚本体,所述坩埚本体的顶部设置凹腔,该可连续送丝的坩埚还包括嵌套锅、坩埚盖和送丝避让通道,所述与凹腔相配合的嵌套锅通过凹腔与坩埚本体卡接连接,所述嵌套锅包含锅腔和与锅腔连通的锅开口,所述与嵌套锅相配合的用于封堵锅开口坩埚盖盖设在嵌套锅的锅开口处用于封堵锅开口,所述坩埚盖的中部设置与锅腔连通的送丝避让通道。
优选地,所述凹腔的深度为坩埚本体高度的5%—40%。
优选地,所述坩埚本体由石墨材质制成。
优选地,所述嵌套锅由钼材质或钨材质制成。
优选地,所述坩埚盖由石墨、钼材质或钨材质制成。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:坩埚盖减少了坩埚镀膜过程的飞溅,提高物料的利用率,嵌套锅使坩埚内物料减少,大大降低了坩埚的预热时间,方便进行连续的送丝。
附图说明
图1为现有技术中坩埚的结构示意图。
图2为本实用新型的结构示意图。
图3为本实用新型嵌套锅的结构示意图1。
图4为本实用新型嵌套锅的结构示意图2。
图5为与图4嵌套锅相配合的坩埚盖的结构示意图。
图6为本实用新型的爆炸结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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