[实用新型]一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗

说明书

本实用新型涉及一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，包括设置在真空镀膜仪的腔体(1)上的观察窗，所述观察窗包括用以观察样品台(2)的样品台观察窗(3)、观察蒸发源(4)的源材料观察窗(5)，所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)设置在腔体(1)的相对两侧，所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)均倾斜设置，从所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)入射的光线分别直接打在样品台(2)、蒸发源(4)开口处。本实用新型利于样品台表面或蒸发源开口处的直接观察，给生产或科研带来了很大的便利。

技术领域

本实用新型一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗。

背景技术

纳米真空镀膜仪可以对蒸镀的源材料进行高精度控温，常常用于纳米级薄膜材料和纳米器件的制备。纳米真空镀膜仪的腔体上常常设有一些观察窗口，以便于用肉眼观察其工作时的腔体内部情况，尤其是样品台表面的生长镀膜情况，以及蒸发源开口处的源材料加热情况，但是市场上常见的观察窗都是垂直于腔体表面，不利于样品台表面或蒸发源开口处的直接观察，给生产或科研带来了很大的不便。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种利于样品台表面或蒸发源开口处的直接观察，给生产或科研带来了很大的便利的纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，包括设置在真空镀膜仪的腔体上的观察窗，所述观察窗包括用以观察样品台的样品台观察窗、观察蒸发源的源材料观察窗，所述样品台观察窗、源材料观察窗设置在腔体的相对两侧，所述样品台观察窗、源材料观察窗均倾斜设置，从所述样品台观察窗、源材料观察窗入射的光线分别直接打在样品台或蒸发源开口处。

本实用新型纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗的有益效果是，斜切式观察窗，其与腔体侧壁表面的角度小于90度，用肉眼可以直接观察到样品台表面的生长情况和蒸发源开口处源材料的加热情况，给仪器操作者带来了很大的便利性。

优选地，所述样品台观察窗、源材料观察窗的材质为石英玻璃。

优选地，所述样品台观察窗从观察口的一端至与腔体连接的一端为倾斜向上设置；源材料观察窗从观察口的一端至与腔体连接的一端为倾斜向下设置，所述样品台观察窗从观察口的一端与源材料观察窗从观察口的一端基本齐平。利于作业人员在几乎同一个高度观察样品台和蒸发源，进一步给观察提供了便利性。

优选地，所述样品台观察窗、源材料观察窗上分别设置有放大镜，所述放大镜可拆卸的设置在与其对应的观察口上。便于作业人员更清晰的观察样品台以及蒸发源；可拆卸设置，可以根据作业人员的需求来选择是否来安装该放大镜。

优选地，每个所述观察口的侧壁上设置有插槽，所述放大镜插设在与其对应的插槽内，所述放大镜通过绳子和与其对应的观察口连接。当要放大时，将放大镜插入与其对应的插槽使用；当不需要放大时，将放大镜从插槽取出即可，取出放大镜后，放大镜因为绳子挂在观察口处，方便下次使用。

优选地，所述样品台观察窗、源材料观察窗的观察口上分别设置有防尘盖。当不需要观察时，防尘盖关闭观察口，避免灰尘进入腔体。

优选地，所述防尘盖以旋转或是翻盖的方式设置在与其对应的观察口上。

附图说明

图1为本实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。