[实用新型]四氯化硅尾气的处理装置

说明书

本实用新型提供了一种四氯化硅尾气的处理装置。该处理装置包括：第一反应器，用于使四氯化硅尾气与过量碱液反应得到含有硅酸盐和次氯酸盐的第一反应产物；固液分离器，与第一反应器的出口连通，用于将第一反应产物固液分离以得到分离液；第二反应器，与固液分离器的出口连通，用于使次氯酸盐与还原剂发生氧化还原反应转化为氯盐以得到第二反应产物；酸碱中和装置，与第二反应器的出口连通，用于将酸液与第二反应产物混合以中和过量的碱液。采用上述装置对四氯化硅尾气进行处理时，能够利用亚硫酸钠等还原剂处理掉淋洗后废碱液中的次氯酸盐，从而避免了次氯酸盐在酸性环境下生成的氯气在设备或者管道低处的聚集，降低了生产安全隐患的发生。

技术领域

本实用新型涉及高纯四氯化硅技术领域，具体而言，涉及一种四氯化硅尾气的处理装置。

背景技术

光纤通信具有传输频带宽、通信容量大、中继距离长、保密性强、抗干扰性好、节约有色金属材料等优点，得到各国的广泛关注。光纤用高纯四氯化硅的高附加值属性，是多晶硅生产企业降低企业成本，扩大企业利润增长点的一个重要方向。

光纤用高纯四氯化硅生产过程中，需要对四氯化硅进行反应精馏的方法才能去除对产品质量严重影响的氢氧基团杂质。四氯化硅和氯气再光反应器中进行反应，然后再进入分离塔提纯分离，产生的尾气用饱和氢氧化钠溶液淋洗，淋洗后的废液直接进入多晶硅生产系统三废处理站进行中和处理。

然而，氯气在氢氧化钠溶液中会和发生反应生成次氯酸钠溶液，次氯酸钠若没有处理直接排入多晶硅系统的三废处理系统，次氯酸钠在三废处理系统的酸性环境下中会发生逆反应生成氯气，氯气会在设备或者管道低处发生聚集。从而产生安全生产隐患。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种四氯化硅尾气的处理装置，以解决现有技术中四氯化硅尾气的处理装置中易产生安全生产隐患的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种四氯化硅尾气的处理装置，四氯化硅尾气包含氯气，处理装置包括：第一反应器，用于使四氯化硅尾气与过量碱液反应得到含有硅酸盐和次氯酸盐的第一反应产物；固液分离器，与第一反应器的出口连通，用于将第一反应产物固液分离以得到分离液；第二反应器，与固液分离器的出口连通，用于使次氯酸盐与还原剂发生氧化还原反应转化为氯盐以得到第二反应产物；酸碱中和装置，与第二反应器的出口连通，用于将酸液与第二反应产物混合以中和过量的碱液。

进一步地，第一反应器为喷淋塔，碱液在喷淋塔中对四氯化硅尾气进行淋洗处理。

进一步地，喷淋塔中设置有鲍尔环填料。

进一步地，第一反应器具有第一入口和第二入口，第一入口用于通入四氯化硅尾气，第二入口用于通入碱液，处理装置还包括碱液储罐，碱液储罐与第二入口连通。

进一步地，碱液储罐具有回流口，处理装置还包括回流管线，回流管线分别与第二反应器的出口和回流口连通。

进一步地，处理装置还包括循环泵，循环泵设置于回流管线上。

进一步地，循环泵为离心泵。

进一步地，第二反应器为静态混合器。

进一步地，固液分离器具有第二内衬，第二内衬为聚四氟乙烯。

应用本实用新型的技术方案，提供了一种四氯化硅尾气的处理装置，该装置中第一反应器能够将四氯化硅尾气与碱液混合，反应得到含有硅酸盐、次氯酸盐和部分碱液的第一反应产物，第一反应产物通过固液分离器将其中的硅酸盐分离后，再通过第二反应器使分离液与还原剂混合并发生氧化还原反应得到含有氧化产物、还原产物和部分碱液的第二反应产物，还原产物为氯盐，然后通过酸碱中和装置将第二反应产物中和。采用上述装置对四氯化硅尾气进行处理时，能够利用亚硫酸钠等还原剂处理掉淋洗后废碱液中的次氯酸盐，从而避免了次氯酸盐在酸性环境下生成的氯气在设备或者管道低处的聚集，降低了生产安全隐患的发生。