[实用新型]四氯化硅尾气的处理装置

权利要求书

1.一种四氯化硅尾气的处理装置，所述四氯化硅尾气包含氯气，其特征在于，所述处理装置包括：

第一反应器(10)，用于使所述四氯化硅尾气与过量碱液反应得到含有硅酸盐和次氯酸盐的第一反应产物；

固液分离器(20)，与所述第一反应器(10)的出口连通，用于将所述第一反应产物固液分离以得到分离液；

第二反应器(30)，与所述固液分离器(20)的出口连通，用于使所述次氯酸盐与还原剂发生氧化还原反应转化为氯盐以得到第二反应产物；

酸碱中和装置(40)，与所述第二反应器(30)的出口连通，用于将酸液与所述第二反应产物混合以中和过量的所述碱液。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述第一反应器(10)为喷淋塔，所述碱液在所述喷淋塔中对所述四氯化硅尾气进行淋洗处理。

3.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于，所述喷淋塔中设置有鲍尔环填料。

4.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于，所述第一反应器(10)具有第一入口和第二入口，所述第一入口用于通入所述四氯化硅尾气，所述第二入口所述用于通入所述碱液，所述处理装置还包括碱液储罐(50)，所述碱液储罐(50)与所述第二入口连通。

5.根据权利要求4所述的处理装置，其特征在于，所述碱液储罐(50)具有回流口，所述处理装置还包括回流管线(60)，所述回流管线(60)分别与所述第二反应器(30)的出口和所述回流口连通。

6.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括循环泵(70)，所述循环泵(70)设置于所述回流管线(60)上。

7.根据权利要求6所述的处理装置，其特征在于，所述循环泵(70)为离心泵。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的处理装置，其特征在于，所述第二反应器(30)为静态混合器。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的处理装置，其特征在于，所述固液分离器(20)具有第一内衬，所述第一内衬为聚四氟乙烯。