[实用新型]等离子体表面处理设备有效
| 申请号: | 202020163171.7 | 申请日: | 2020-02-12 | 
| 公开(公告)号: | CN211238156U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 | 
| 发明(设计)人: | 万良淏;徐龙;万京林 | 申请(专利权)人: | 南京苏曼等离子科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 | 
| 代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 金子娟 | 
| 地址: | 211178 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 等离子体 表面 处理 设备 | ||
1.一种等离子体表面处理设备,包括工装组件,其特征在于,设有吸附系统:
所述工装组件包括工装块(26),工装块(26)顶面用于放置待处理的产品工件,在被产品工件覆盖的位置,工装块(26)上设有至少一个吸附孔;
所述吸附系统包括吸附风机,工装块(26)上的吸附孔通过气路与吸附风机(19)连接,设备工作时,通过吸附风机(19)将产品工件吸附在工装块(26)上。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体表面处理设备,其特征在于,所述工装块(26)的顶面面积小于产品工件的上表面面积,产品工件放置在工装块(26)上时,工装块(26)托住产品工件的中部,使产品工件的边缘悬空。
3.根据权利要求1所述的一种等离子体表面处理设备,其特征在于,所述产品工件的边缘与工装块(26)边缘距离不小于10mm。
4.根据权利要求2或3所述的一种等离子体表面处理设备,其特征在于,所述工装组件还设有托板(22)、气路板(23)、气路接口(25)和一转接托盘(27);
工装块(26)安装在所述托板(22)上,托板(22)在对应工装块(26)吸附孔的位置设有通孔;
气路板(23)安装在托板(22)下方,所述气路板(23)上设置有气路槽,气路槽通过气路接口(25)与吸附风机(19)连接,工装块(26)上的吸附孔则通过托板(22)上的通孔与气路槽连通;
所述转接托盘(27)上设有与工装块(26)一一对应的工件槽,工件槽顶面开口,底板设有通孔,工件槽顶面开口的尺寸大于产品工件尺寸,使产品工件可落入工件槽内;工件槽底板通孔的尺寸小于产品工件,但大于工装块,使得工件槽能将下落的产品工件托住,并使工装块(26)能从下方插入工件槽内,将产品工件顶起。
5.根据权利要求4所述的一种等离子体表面处理设备,其特征在于,所述工件槽呈锥台状,四壁为斜面,其底板外缘尺寸与产品工件一致,底板上的通孔设置在中部。
6.根据权利要求1所述的一种等离子体表面处理设备,其特征在于,设有柜体和多轴向运动系统;
所述柜体的中部设有工作台,所述多轴向运动系统包括X轴滑台、Y轴滑台和Z轴滑台,所述X轴滑台位于Y轴滑台的一侧,安装在上部柜体的后侧,Z轴滑台安装在X轴滑台的滑台滑块上,Y轴滑台安装在所述工作台上;
等离子体发生系统的喷枪安装在Z轴滑台的滑台滑块上,位于所述工作台上方的上部柜体内;工装组件安装在Y轴滑台的滑台滑块上,在滑台滑块的带动下进出上部柜体;
工作台下方的下部柜体内设置有拖链(21),拖链(21)铺设方向与Y轴滑台的运动方向平行,拖链浮动端与工装组件固连接,吸附气路从拖链固定端穿入,从拖链移动端穿出,与工装块(26)上的吸附孔连通。
7.根据权利要求6所述的一种等离子体表面处理设备,其特征在于,所述Z轴滑台的滑台滑块上安装有两种以上类型的喷枪和与喷枪一一对应的无杆气缸,喷枪安装在无杆气缸的滑块上,无杆气缸固定安装在所述Z轴滑台的滑台滑块。
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