[实用新型]一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统

说明书

本实用新型实施例公开了一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，包括定比例气体输送单元；对定比例气体输送单元供给的组分气和载气进行混合，后得到中间气体的混气单元；用于提供高纯清洗水和喷洒原液的供液单元；将所述中间气体在定温密封环境下进行体积和气体压力的标定以获得目标气体，并在定温密封环境下进行原液体积的标定以获得目标液体，再将目标气体和目标液体进行持续的搅拌混合，得到标准溶液，并将标准溶液动态的排出的气液混合器，高精度的质量流量控制器控制气体的质量流量，由多重混合方式使气体和溶液达到充分混匀，最终输出不受温压条件的影响，不产生任何对环境有害的废气或废液的动态标准溶液。

技术领域

本实用新型实施例涉及痕量溶解三元混合气体标准溶液制备技术领域，具体涉及一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统。

背景技术

标准混合气体的制作多采用一种高纯气体作稀释气再添加一种或几种其它的高纯气体配制而成，主要有称量法、分压法、体积法、渗透法、饱和法、电解法、指数稀释法等。

标准溶液配制多采用容量法、中和法、氧化还原法、络合滴定法以及定值痕量水溶气体标准溶液制作系统法等方法。其中，称量法、分压法、体积法、渗透法、饱和法、电解法、指数稀释法等标准气体配制方法仅适合配制定值混合标准气体；而容量法、中和法、氧化还原法、络合滴定法等标准溶液的配制方法仅适合配制非气体为主体目标的标准溶液；

定值痕量水溶气体标准溶液制作系统法依据顶空平衡气相色谱测试原理，可以制作以水溶气体为主体目标的标准溶液，但需要依靠耐压原液桶、定气标液配制器、气相色谱单元等多套系统方能实现，从动力学角度来说，此法属于静态制作法，每次制作的标液数量有限，不能提供持续输出；以上现有方法均不能满足痕量溶解三元混合气体标准溶液动态制作的需求。

实用新型内容

为此，本实用新型实施例提供一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，解决了现有方法均不能满足痕量溶解三元混合气体标准溶液动态制作的需求的问题。

为了实现上述目的，本实用新型的实施方式提供如下技术方案：

一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，包括，

定比例气体输送单元，用于提供预设比例的组分气和载气；

混气单元，对定比例气体输送单元供给的组分气和载气进行混合，后得到中间气体；

供液单元，用于提供高纯清洗水和喷洒原液；

气液混合器，将所述中间气体在定温密封环境下进行体积和气体压力的标定以获得目标气体，并在定温密封环境下进行原液体积的标定以获得目标液体，再将目标气体和目标液体进行持续的搅拌混合，得到标准溶液，并将标准溶液动态的排出。

作为本实用新型的一种优选方案，所述定比例气体输送单元包括多个用于组分气输送的第一分支管和一个用于载气输送的第二分支管，以及实现所述第一分支管，所述第二分支管、所述混气单元和所述气液混合器的近真空状态的真空系统。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一分支管、所述第二分支管以及所述真空系统的管路上均安装有压力传感器和质量流量控制器。

作为本实用新型的一种优选方案，所述混气单元包括连接所述真空系统和气液混合器的总分管道以及设置在总分管道上的涡扇混气机构，所述涡扇混气机构与所述定比例气体输送单元连接，并接收所述组分气和载气，所述总分管道延伸入气液混合器内部的末端设置有用于喷出组分气和载气的混合气体的通气盘管；

位于气液混合器内部的总分管道上设置有螺旋管，位于螺旋管和涡扇混气机构之间的所述总分管道通过快速接头连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述下层腔室连接有由气液混合器混合后，并通过设置在气液混合器上的泄压阀排出的所述目标气体的直管主体。