[实用新型]一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统

权利要求书

1.一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，包括，

定比例气体输送单元，用于提供预设比例的组分气和载气；

混气单元，对定比例气体输送单元供给的组分气和载气进行混合，后得到中间气体；

供液单元，用于提供高纯清洗水和喷洒原液；

气液混合器，将所述中间气体在定温密封环境下进行体积和气体压力的标定以获得目标气体，并在定温密封环境下进行原液体积的标定以获得目标液体，再将目标气体和目标液体进行持续的搅拌混合，得到标准溶液，并将标准溶液动态的排出。

2.根据权利要求1所述的一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，所述定比例气体输送单元包括多个用于组分气输送的第一分支管(1)和一个用于载气输送的第二分支管(2)，以及实现所述第一分支管(1)，所述第二分支管(2)、所述混气单元和所述气液混合器的近真空状态的真空系统(3)。

3.根据权利要求2所述的一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，所述第一分支管(1)、所述第二分支管(2)以及所述真空系统(3)的管路上均安装有压力传感器(4)和质量流量控制器(5)。

4.根据权利要求3所述的一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，所述混气单元包括连接所述真空系统(3)和气液混合器的总分管道(6)以及设置在总分管道(6)上的涡扇混气机构(7)，所述涡扇混气机构(7)与所述定比例气体输送单元连接，并接收所述组分气和载气，所述总分管道(6)延伸入气液混合器内部的末端设置有用于喷出组分气和载气的混合气体的通气盘管(8)；

位于气液混合器内部的总分管道(6)上设置有螺旋管(9)，位于螺旋管(9)和涡扇混气机构(7)之间的所述总分管道(6)通过快速接头(10)连接。

5.根据权利要求4所述的一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，所述涡扇混气机构(7)连接有由气液混合器混合后，并通过设置在气液混合器上的泄压阀(14)排出的所述目标气体的直管主体(11)。

6.根据权利要求5所述的一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，所述直管主体(11)内部设置有用于气液分离的丝网分离体(13)，所述直管主体(11)上设置有单向阀(15)。

7.根据权利要求5所述的一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统，其特征在于，所述泄压阀(14)内部设置有用于监测气液混合器内顶部气压的内压传感器(12)，同时将内压传感器(12)采集的气液混合器内顶部气压的电信号作为单向阀(15)工作的驱动信号。