[实用新型]用于吸附抛光盘的上定盘

说明书

本实用新型提供了一种用于吸附抛光盘的上定盘，包括呈圆盘状的本体，所述本体侧面开有用于吊装的螺纹孔一，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二，本体中心开有通孔，以通孔为圆心从内到外依次环绕设置有第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群，第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群上均嵌有螺纹衬套。通过真空吸附使得上定盘固锁抛光盘相较于螺钉紧固没有预紧变形，固锁后抛光盘平面度更好。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种用于吸附抛光盘的上定盘。

背景技术

硅片抛光盘装置盘面分下定盘、上定盘、抛光盘，现有的三个盘的连接方式大多采用螺钉连接，但是螺钉拧紧后容易造成三个盘形成预紧变形。上定盘连接在下定盘上，抛光盘吸附在上定盘上，下定盘下表面具有连接抽气管的连接头，上定盘上开有吸附孔，下定盘有抽气通道，抽气通道连通吸附孔，由于抛光盘覆盖在上定盘上，上定盘上有凹槽，使得上定盘与抛光盘之间有封闭的空腔，吸附孔连接空腔，通过真空抽气泵把上定盘上空腔抽成真空状态，使抛光盘牢牢吸附在上定盘上。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于吸附抛光盘的上定盘，通过真空吸住抛光盘，固锁后抛光盘平面度更好，没有预紧变形。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于吸附抛光盘的上定盘，包括呈圆盘状的本体，其特征在于，所述本体侧面开有用于吊装的螺纹孔一，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二，本体中心开有通孔，以通孔为圆心从内到外依次环绕设置有第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群和第五凸起块群，第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群上均嵌有螺纹衬套。

进一步的，所述第一凸起块群包括六个三角形凸起块且其上都嵌有螺纹衬套。

进一步的，所述第二凸起块群包括四个方形凸起块和八个三角形凸起块且其上都开有螺纹衬套，方形凸起块和三角形凸起块交叉设置。

进一步的，第三凸起块群包括四个方形凸起块和八个短弧形条凸起块，方形凸起块和短弧形条凸起块交叉设置。

进一步的，第四凸起块群包括四个方形凸起块和八个长弧形条凸起块，方形凸起块和长弧形条凸起块交叉设置。

进一步的，第五凸起块群呈圆环状且其上嵌有螺纹衬套。

进一步的，第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群之间形成气腔，真空通过中心的通孔进入气腔用于吸附抛光盘。

与现有技术相比，本用于吸附抛光盘的上定盘包括以下优点：

1.通过真空吸附使得上定盘固锁抛光盘相较于螺钉紧固没有预紧变形，固锁后抛光盘平面度更好；

2.螺纹衬套均匀且分散布置，可以牢固地将抛光盘吸附住。

附图说明

图1是用于吸附抛光盘的上定盘的正面结构图。

图2是用于吸附抛光盘的上定盘的剖视图。

图中，1、本体；2、螺纹孔一；3、螺纹孔二；4、通孔；5、第一凸起块群；6、第二凸起块群；7、第三凸起块群；8、第四凸起块群；9、螺纹衬套；10、方形凸起块；11、三角形凸起块；12、短弧形条凸起块；13、长弧形条凸起块；14、第五凸起块群。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。