[实用新型]用于吸附抛光盘的上定盘

权利要求书

1.一种用于吸附抛光盘的上定盘，包括呈圆盘状的本体，其特征在于，所述本体侧面开有用于吊装的螺纹孔一，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二，本体中心开有通孔，以通孔为圆心从内到外依次环绕设置有第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群和第五凸起块群，第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群上均嵌有螺纹衬套。

2.根据权利要求1所述的用于吸附抛光盘的上定盘，其特征在于，所述第一凸起块群包括六个三角形凸起块且其上嵌有螺纹衬套。

3.根据权利要求1所述的用于吸附抛光盘的上定盘，其特征在于，所述第二凸起块群包括四个方形凸起块和八个三角形凸起块且其上嵌有螺纹衬套，方形凸起块和三角形凸起块交叉设置。

4.根据权利要求1所述的用于吸附抛光盘的上定盘，其特征在于，第三凸起块群包括四个方形凸起块和八个短弧形条凸起块且其上嵌有螺纹衬套，方形凸起块和短弧形条凸起块交叉设置。

5.根据权利要求1所述的用于吸附抛光盘的上定盘，其特征在于，第四凸起块群包括四个方形凸起块和八个长弧形条凸起块且其上嵌有螺纹衬套，方形凸起块和长弧形条凸起块交叉设置。

6.根据权利要求1所述的用于吸附抛光盘的上定盘，其特征在于，第五凸起块群呈圆环状且其上嵌有螺纹衬套。

7.根据权利要求2或3或4或5或6所述的用于吸附抛光盘的上定盘，其特征在于，第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群间形成气腔，真空通过中心的通孔进入气腔用于吸附抛光盘。