[实用新型]一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统

权利要求书

1.一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，包括氦气输出装置、氦气处理装置、压缩机、连接接头和监控装置，所述氦气处理装置包括安装在冷箱杜瓦上的氦气泵和制冷机，所述氦气输出装置与所述氦气泵相连接，所述氦气泵连接所述制冷机，所述压缩机与所述制冷机相连接，所述监控装置连接所述压缩机，所述连接接头包括输入连接接头和输出连接接头，所述输入连接接头与所述氦气泵相连接，所述输出连接接头与所述制冷机相连接。

2.如权利要求1所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述制冷机包括冷指和冷头换热器，所述冷指与所述压缩机相连接，所述冷头换热器分别连接所述氦气泵和所述输出连接接头。

3.如权利要求2所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述氦气处理装置还包括缓冲罐，所述缓冲罐分别连接所述氦气泵和所述冷头换热器，所述缓冲罐安装在冷箱杜瓦内。

4.如权利要求3所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述氦气输出装置包括依次连接的氦气瓶、第一压力表、减压阀和第二压力表，所述第二压力表与所述氦气泵相连接。

5.如权利要求4所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述第二压力表与所述氦气泵之间还设有第一截止阀和电磁阀，所述第二压力表连接所述第一截止阀，所述第一截止阀与所述电磁阀相连接，所述电磁阀连接所述氦气泵。

6.如权利要求5所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述电磁阀与所述氦气泵之间还设有四通阀，所述四通阀的第一接头连接所述电磁阀，所述四通阀的第二接头连接有第一真空装置，所述四通阀的第三接头连接所述氦气泵，所述四通阀的第四接头连接放气装置。

7.如权利要求6所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述第一真空装置包括第一真空泵和第二截止阀，所述第二截止阀分别连接第一真空泵和所述四通阀的第二接头。

8.如权利要求7所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述放气装置为第三截止阀，所述监控装置为监控器。

9.如权利要求8所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述第三接头与所述氦气泵之间还设有第一安全阀和第二安全阀，所述第一安全阀分别连接所述第三接头和所述第二安全阀，所述第二安全阀与所述氦气泵相连接。

10.如权利要求9所述的一种可远程提供低温冷却的氦气循环系统，其特征在于，所述冷箱杜瓦上连接有第二真空装置，所述第二真空装置包括第二真空泵和第四截止阀，所述第二真空泵与所述第四截止阀相连接，所述第四截止阀连接所述冷箱杜瓦。