[发明专利]一种柔性AMOLED掩模版的清洗工艺

说明书

本发明公开了一种柔性AMOLED掩模版的清洗装置，包括机壳，所述机壳的内壁固定安装有固定装置，所述固定装置的内部包括伸缩杆，所述伸缩杆远离机壳的一端设置有活动连板，所述活动连板的内壁与伸缩杆的外壁活动连接，所述活动连板远离伸缩杆的一端固定安装有限位块，所述限位块的内部设置有旋转轴，所述旋转轴的外壁与限位块的内壁活动连接，所述旋转轴的外壁固定安装有安装凹台，所述安装凹台的内部设置有控制轴，所述控制轴的两端与安装凹台的内壁活动连接，所述控制轴的外壁固定安装有固定杆一。通过固定装置能够对掩膜版进行固定，用于不同尺寸的掩膜版，旋转轴能够带动固定装置转动，进一步带动掩膜版转动，缩短药液浸泡时间，提高清洗效率。

技术领域

本发明属于AMOLED掩模版技术领域，具体涉及一种柔性AMOLED掩模版的清洗工艺。

背景技术

掩膜版又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具，是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。掩膜版用于下游电子元器件制造业批量生产，是下游行业生产流程衔接的关键部分，是下游产品精度和质量的决定因素之一。产品主要应用于平板显示、半导体芯片、触控、电路板等行业，是下游行业产品制程中的关键工具。中国市场上客户包括面板领域的京东方、天马、华星光电、群创光电、瀚宇彩晶、龙腾光电、信利、中电熊猫、维信诺等；在半导体芯片领域，发行人已开发中芯国际、英特尔、艾克尔、颀邦科技、长电科技、士兰微等。

传统的清洗装置在使用时：

1、由于生产的产品不同，使用的掩膜版不同，导致了掩膜版安装固定不便，不方便清洗。

2、由于掩膜版清洗往往需要浸泡较长时间，才能彻底清除其上的有机物，导致了掩膜版清洗效率低下。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种柔性AMOLED掩模版的清洗装置，具备能够用于不同尺寸的掩膜版，清洁效率高的优点。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种柔性AMOLED掩模版的清洗装置，包括机壳，所述机壳的内壁固定安装有固定装置，所述固定装置的内部包括伸缩杆，所述伸缩杆远离机壳的一端设置有活动连板，所述活动连板的内壁与伸缩杆的外壁活动连接，所述活动连板远离伸缩杆的一端固定安装有限位块，所述限位块的内部设置有旋转轴，所述旋转轴的外壁与限位块的内壁活动连接，所述旋转轴的外壁固定安装有安装凹台，所述安装凹台的内部设置有控制轴，所述控制轴的两端与安装凹台的内壁活动连接，所述控制轴的外壁固定安装有固定杆一，所述固定杆一的外壁固定安装有限位边板一。

优选的，所述限位边板一的内壁活动安装有调节轴，所述调节轴的外壁固定安装有固定杆二，所述固定杆二的外壁固定连接有限位边板二，所述固定杆二的底部设置有斜拉弹簧，所述斜拉弹簧的一端与固定杆二的外壁固定连接，所述限位边板一的内部设置有压紧螺杆，所述压紧螺杆的外壁与限位边板一的内壁螺纹连接，所述压紧螺杆的底部固定安装有压紧脚。

通过采用上述技术方案，限位边板一和限位边板二对掩膜版的上下两端进行固定，调节压紧螺杆使压紧脚固定掩膜版，便于对不同形状的掩膜版进行固定。

优选的，所述机壳的底部设置有底座，所述底座的顶部与机壳的底部固定连接，所述底座的底部固定安装有防滑支脚，所述底座的内壁固定安装有超声波发生装置，所述底座的内部包括电加热棒，所述电加热棒的两端与底座的内壁固定连接。

通过采用上述技术方案，超声波发生装置发出超声波，加快清洗，电加热棒控制清洗药液的温度。

优选的，所述底座的底部设置有进药管，所述进药管的外壁与底座的内壁固定连接。

通过采用上述技术方案，进药管进入清洗药液。