[发明专利]一种支持log文件配置的测试系统

说明书

本发明提供了一种支持log文件配置的测试系统，包括：工作站、测试机台和探针台；所述工作站、测试机台和探针台依次通信连接，并进行信号传输；所述工作站包括存储器和处理器；所述存储器存储有测试程序，所述测试程序支持log文件配置；所述log文件包括测试过程相关log文件、测试状态相关log文件和检查结果相关log文件，可以展示测试过程、测试状态、异常问题等信息，记录不易流失，记录内容完整，有利于提高测试信息记录效果与解决问题的效率。

技术领域

本发明属于半导体测试技术领域，具体涉及一种支持log文件配置的测试系统。

背景技术

集成电路的制作工序非常复杂，成本也非常高，因此，作为发现研究、发现成品率的重要手段，集成电路测试占据着不可或缺的地位。目前先进的集成电路设计和制造能力为实现更多的功能和性能空前强大的芯片提供了巨大的支撑，同时，高集成度、高速度的设计也给集成电路测试和成品率带来了非常严峻的挑战。市场需要的是低成本、高性能和能够快速上市的产品，测试程序设计人员如果不能快速有效地完成测试程序，会成为量产出货环节的瓶颈，推迟产品上市时间，造成很大的经济损失。这些都说明在集成电路从研发到生产上市的整个流程中，测试再也不能作为最后考虑的环节了，为了控制不断增长的测试复杂度，测试设计者必须在集成电路的开发过程早期就考虑到测试的需求以满足日益发展的集成电路产业要求。

在集成电路晶圆成品率测试过程中，会对不同的晶圆进行多项电学性能测试，不同厂家生产的晶圆、所使用的探针卡都不尽相同，在测试过程会进行数量繁多的记录，以防在测试过程中出现问题。为了防止测试过程中问题、相关信息记录的丢失，需要对多种文件信息进行收集，避免造成工作人员工作量的增加与产品研发、上市进程的影响。但是现在技术中测试过程中不能做的文件记录足够完整、测试过程记录丢失的风险较高。

发明内容

本发明是基于上述现有技术的全部或部分问题而进行的，目的在于提供一种支持log文件配置的测试系统，能根据实际情况增加测试过程的信息记录量，避免记录缺失。

本发明提供的一种支持log文件配置的测试系统，包括：工作站、测试机台和探针台；所述工作站、测试机台和探针台依次通信连接，并进行信号传输；所述探针台上设置有探针卡和晶圆盒，所述晶圆盒中放置待测晶圆，所述探针卡与待测晶圆连接；所述工作站包括存储器和处理器；所述存储器存储有测试程序，所述测试程序支持log文件配置；所述测试程序被所述处理器运行，按配置生成多个log文件；所述log文件包括测试过程相关log文件、测试状态相关log文件和检查结果相关log文件的一种或多种组合。

在一个具体的实施情况里，所述测试过程相关log文件包括EAP test flow log，记录内容包括测试时间（年月日时分秒）、EAP软件完成的操作和GEM通信指令，用于实时展示EAP模式下的整个测试流程，记录GEM的通信过程。EAP test flow log的记录内容可以帮助用户理解GEM通信的控制流程以及帮助供应商在流程出现问题时定位问题。

在一个可行的实施方案中，所述测试过程相关log文件包括GEM log，记录内容包括所有指令名称与指令的内容，用于实时展示测试过程中所有通信端的GEM指令收发过程。

其中较好的，所述GEM log包括host log和prober log，Host log用于记录EAP和测试机台间的收发指令的名称与内容，Prober log用于记录测试机台和探针台间的收发指令的名称与内容。

在另一个可行的实施方案中，所述测试过程相关log文件包括GPIB log，记录内容包括时间及发送的指令内容、接收的指令内容，用于实时展示测试过程中所有的GPIB指令的收发过程。此GPIB log的记录内容可以帮助用户理解测试机和prober之间的GPIB通信过程，也可以帮助供应商在测试出现问题时定位问题。