[发明专利]一种支持log文件配置的测试系统

权利要求书

1.一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，包括工作站、测试机台和探针台；

所述工作站、测试机台和探针台依次通信连接，并进行信号传输；所述探针台上设置有探针卡和晶圆盒，所述晶圆盒中放置待测晶圆，所述探针卡与待测晶圆连接；

所述工作站包括存储器和处理器；所述存储器存储有测试程序，所述测试程序支持log文件配置；所述测试程序被所述处理器运行，按配置生成多个log文件；所述log文件包括测试过程相关log文件、测试状态相关log文件和检查结果相关log文件的一种或多种组合。

2.根据权利要求1所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述测试过程相关log文件包括EAP test flow log，记录内容包括测试时间、EAP软件完成的操作和GEM通信指令，用于实时展示EAP模式下的整个测试流程，记录GEM的通信过程。

3.根据权利要求1所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述测试过程相关log文件包括GEM log，记录内容包括所有指令的名称与指令的内容，用于实时展示测试过程中所有通信端的GEM指令收发过程。

4.根据权利要求3所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述GEM log包括host log和prober log，host log用于记录EAP和测试机台间的收发指令的名称与内容，prober log用于记录测试机台和探针台间的收发指令的名称与内容。

5.根据权利要求1所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述测试过程相关log文件包括GPIB log，记录内容包括时间及发送的指令内容、接收的指令内容，用于实时展示测试过程中所有的GPIB指令的收发过程。

6.根据权利要求5所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述GPIBlog不限于展示特定测试流程下所有的GPIB指令的收发过程，也能展示EAP模式、Offline模式、Debug模式的2种以上模式中的所有的GPIB指令的收发过程。

7.根据权利要求1所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述测试过程相关log文件包括Test log，用于展示测试结束后的测试信息总结。

8.根据权利要求7所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述Testlog的记录内容包括行信息和列信息；

所述行信息中一行代表一次测试的信息总结；

所述列信息包括Lot ID和Recipe ID的组合、Recipe ID、Prober Recipe、晶圆盒编号、流程编号、操作员编号、设备号、连接模式、探针卡标识号码、扎针深度、测试开始时间、测试结束时间、总的测试时间、处理一个晶圆的测试时间、整个测试过程中的扎针次数、测试的晶圆数量、测试通过的晶圆数量及其编号、测试未通过的晶圆数量及其编号中的若干项信息。

9.根据权利要求1所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述测试过程相关log文件包括Test time log，用于展示一次测试过程中每个测试项测试以及module移动的时间统计。

10.根据权利要求9所述的一种支持log文件配置的测试系统，其特征在于，所述Testtime log的记录内容包括行信息和列信息；

所述行信息中，每一行表示一条测试项的测试信息和花费的时间；

所述列信息包括：测试类型、晶圆编号名称、Die spec名称、Die位置信息、Test spec名称、Module名称、Device名称、算法名称、每条测试项测试花费的时间、从上一条module移动到下一条module的时间中的若干项信息。