[发明专利]大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台

说明书

本发明公开大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台。大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台包括基座、安装于基座上的双Y轴机构、在双Y轴机构上来回做直线运动的双Z轴机构。本发明采用双Z轴机构，第一Z轴齿条和第二Z轴齿条与基座垂直安装，行程可达到200mm以上，第一Y向直线电机轴和第二Y向直线电机轴同时运行时，第一负载示意和第二负载示意可上下和错开运行，避免第一负载示意与第二负载示意发生碰撞，从而有效减小第一Y向直线电机轴与第二Y向直线电机轴之间的间距，进一步的减小了平台的整体宽度，大大的节省了空间。

技术领域

本发明涉及直线电机驱动装置领域，尤其涉及大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台。

背景技术

现有技术中采用的运动平台存在的问题有：

1.常见的双台面运动平台，Z轴行程较短，当实际应用负载幅面较大时，两平台无法上下交叉运行，只能增加双Y轴之间的距离，使负载不相互干涉；从而导致平台体积增大，不便于运输和应用；

2.单台面运动平台只有一个工作台面，应用时工作效率低下；

3.运动平台Z轴采用螺杆传动方法，导致运动速度较慢。

发明内容

本发明的目的是为了减小整体平台的体积而提供大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台，该平台采用双Z轴机构，第一Z轴齿条和第二Z轴齿条与基座垂直安装，行程可达到200mm以上，第一Y向直线电机轴和第二Y向直线电机轴同时运行时，第一负载示意和第二负载示意可上下和错开运行，避免第一负载示意与第二负载示意发生碰撞。

本发明的技术方案如下：

大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台，包括基座、安装于基座上的双Y轴机构、在双Y轴机构上来回做直线运动的双Z轴机构；所述双Y轴机构包括两条平行安装于所述基座上的第一Y向直线电机轴和第二Y向直线电机轴，所述Z轴机构包括分别运动于第一Y向直线电机轴上和第二Y向直线电机轴上且相对设置的第一Z轴装置和第二Z轴装置，所述第一Z轴装置包括垂直安装于第一Y 向直线电机轴上的第一Z轴底板、安装于第一Z轴底板内侧的两条平行设置且与基座垂直的第一Z轴导轨、可在第一Z轴导轨上运动的第一Z轴滑块、固定安装于两条第一Z轴导轨之间且与基座垂直设置的第一Z轴齿条、固定安装于第一Z轴滑块上的第一负载固定板、所述第一负载固定板中心处开有第一圆形孔、穿过所述第一圆形孔的第一Z轴齿轮、驱动第一Z轴齿轮转动的第一Z轴伺服电机和固定安装于所述第一负载固定板上的两条平行设置的第一负载支撑板，所述第一Z轴伺服电机驱动第一Z轴齿轮转动，所述第一Z轴齿轮在所述第一Z轴齿条上啮合运动从而带动放置于所述第一负载支撑板上的第一负载示意沿Z轴方向运动；所述第二Z轴装置包括垂直安装于第二Y 向直线电机轴上的第二Z轴底板、安装于第二Z轴底板内侧的两条平行设置且与基座垂直的第二Z轴导轨、可在第二Z轴导轨上运动的第二Z轴滑块、固定安装于两条第二Z轴导轨之间且与基座垂直设置的第二Z轴齿条、固定安装于第二Z轴滑块上的第二负载固定板、所述第二负载固定板中心处开有第二圆形孔、穿过所述第二圆形孔的第二Z轴齿轮、驱动第二Z轴齿轮转动的第二Z轴伺服电机和固定安装于所述第二负载固定板上的两条平行设置的第二负载支撑板，所述第二Z轴伺服电机驱动第二Z轴齿轮转动，所述第二Z轴齿轮在所述第二Z轴齿条上啮合运动从而带动放置于所述第二负载支撑板上的第二负载示意沿Z轴方向运动。

上述第一Z轴装置还包括固定于第一Z轴滑块侧面的第一限位块以及分别固定安装于第一Z轴底板内侧位于所述第一限位块运动方向上第一防撞件。

上述第二Z轴装置还包括固定于第二Z轴滑块侧面的第二限位块以及分别固定安装于第二Z轴底板内侧位于所述第二限位块运动方向上第二防撞件。

上述第一Z轴装置还包括安装于所述第一Z轴伺服电机输出轴上并对第一Z轴齿轮起减速作用的第一减速器。

上述第二Z轴装置还包括安装于所述第二Z轴伺服电机输出轴上并对第二Z轴齿轮起减速作用的第二减速器。

上述基座为花岗岩基座。