[发明专利]一种应用在六氟化硫及其分解产物气敏传感器检测中的气敏传感器的测试方法

权利要求书

1.一种应用在六氟化硫及其分解产物气敏传感器检测中的气敏传感器的测试方法，基于一种气敏传感器的动态测试平台实施，其特征在于：

所述气敏传感器的动态测试平台包括动态配气系统、气敏响应室、电学检测系统、数据分析系统、光源以及收集装置；

所述动态配气系统、所述气敏响应室以及所述收集装置依次通过管道连通，所述气敏响应室设有气敏传感器，所述气敏响应室用于采集气体信号；

所述电学检测系统与所述气敏传感器电连接，所述数据分析系统与所述电学检测系统电连接，所述电学检测系统用于将所述气体信号转换为电信号；

所述动态配气系统包括混气箱以及多个进气箱；

多个所述进气箱分别与所述混气箱通过管道连通，所述管道上设有MFC质量流量控制器，MFC质量流量控制器用于调整各个进气箱通入气体的流速；

所述进气箱分为背景进气箱以及调控进气箱；

背景进气箱用于通入惰性气体，调控进气箱用于通入SF₆分解产物气体；

所述气敏响应室包括外壳、可伸缩电极以及透光窗；

所述气敏传感器嵌设于所述可伸缩电极上，所述可伸缩电极安装于所述外壳的底部，所述透光窗安装于所述外壳的顶部；

所述电学检测系统通过所述可伸缩电极与所述气敏传感器电连接；

所述光源架设于所述外壳上，且位于所述透光窗的正上方；

所述电学检测系统通过所述可伸缩电极与所述气敏传感器电连接；

所述测试方法，包括如下步骤：

步骤一：打开背景进气箱的减压阀通入氮气或氦气，清洗整个系统的管路和腔室中的残余气体，并检测气路的密封性；

步骤二：打开背景进气箱的阀门，通入SF₆背景气体并控制其流速输送至气敏响应室中，数据分析系统采集气敏传感器在背景气体的电信号；

步骤三：分别打开背景进气箱和调控进气箱的减压阀，通入SO₂F₂以及SF₆两路气体，通过动态配气系统进行调控流速配比，并在混气箱内充分混匀成为目标气体，输送至气敏响应室中，数据分析系统实时采集气敏传感器在目标气体的电信号；

步骤四：打开数据分析系统的操作界面，将得到的目标气体电信号除去背景气体的电信号后得到的电信号变化值用于初步评价气敏响应性能。

2.根据权利要求1所述的应用在六氟化硫及其分解产物气敏传感器检测的气敏传感器的测试方法，其特征在于，还包括控温台；

所述控温台设于所述可伸缩电极的底部。

3.根据权利要求2所述的应用在六氟化硫及其分解产物气敏传感器检测的气敏传感器的测试方法，其特征在于，所述控温台的可调温度范围为25～500℃。

4.根据权利要求1所述的应用在六氟化硫及其分解产物气敏传感器检测的气敏传感器的测试方法，其特征在于，所述外壳的容积为100mL。

5.根据权利要求1所述的应用在六氟化硫及其分解产物气敏传感器检测的气敏传感器的测试方法，其特征在于，所述气敏传感器通过平板基底嵌设于所述可伸缩电极上。