[发明专利]一种面内滑动的射频开关

说明书

本发明提供了一种面内滑动的射频开关，包括基底、滑动部件和至少一个弹性件，滑动部件设于基底上，且滑动部件在基底上运动，弹性件的一端固定于基底上，弹性件的另一端固定于滑动部件的一侧，且弹性件的伸缩方向与滑动部件的移动方向一致。本发明提供的面内滑动的射频开关，在滑动部件的端部设置弹性件，能够在滑动部件滑动并切换射频开关的开闭时起到缓冲的效果，对滑动部件的滑动位置进行限定，避免其在滑动时超出驱动区域，且能够避免滑动部件在运动时的冲击和碰撞，提高整个射频开关的可靠性。

技术领域

本发明属于结构超滑的技术领域，更具体地说，是涉及一种面内滑动的射频开关。

背景技术

射频开关是一种控制射频信号通道转换的基础核心电子元器件，被广泛应用于移动通信终端、自动化测试系统(ATE)、高性能相控阵雷达、卫星通信系统等先进电子装备中。随着移动通信技术迈向5G时代，工作频段将增加至超过40个，频率范围提升至3GHz-70GHz。在中、高频率多频段(20GHz-70GHz)信号传输中，为了减少不同频段信号之间的互相干扰，提高信号接收灵敏度，射频通讯系统对开关的线性度、隔离度、插入损耗等性能提出更加苛刻的要求。

RF MEMS射频开关与传统半导体开关相比，由于利用机械式切换来控制射频信号的通断，具有高线性度、低损耗、高隔离度等优异射频特性。尽管，RF MEMS开关有诸多优势，但是要实现大规模应用，亟待在可靠性方面取得突破。

申请号为CN111884644A的中国专利申请中，公开了一种并联RF-MEMS开关，其包括基底、驱动部件、绝缘层以及滑动部件，其中，所述驱动部件置于所述基底内部，所述驱动部件与所述基底表面平齐且保持纳米级平整；所述滑动部件具有充电电介质层，并具有原子级平整超滑面，滑动部件通过超滑面与绝缘层接触，并置于绝缘层之上；所述滑动部件能够被驱动在面内沿水平方向滑动，其主要通过在滑动部件的两侧实现电压差，使得滑动部件实现滑动，但是由于电压的驱动力较大，因此在射频开关切换过程中，可能会产生冲击和碰撞的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种面内滑动的射频开关，以解决现有技术中射频开关切换过程中，可能会产生冲击和碰撞的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种面内滑动的射频开关，包括基底、滑动部件和至少一个弹性件，所述滑动部件设于所述基底上，且所述滑动部件在所述基底上运动，所述弹性件的一端固定于所述基底上，所述弹性件的另一端固定于所述滑动部件上，且所述弹性件的伸缩方向与所述滑动部件的移动方向一致。

进一步地，所述弹性件的下表面高于所述基底，且所述弹性件不与所述基底相接触。

进一步地，所述基底上凸设有锚点，所述弹性件固定于所述锚点上。

进一步地，所述弹性件的数量至少为两个，且两个所述弹性件分别设于所述滑动部件的相对两侧。

进一步地，所述弹性件是微弹簧。

进一步地，所述滑动部件包括超滑片和设于所述超滑片上的电介质层，所述超滑片设于所述基底上，且所述基底的至少上表面为原子级光滑表面，所述超滑片与所述基底组成超滑副。

进一步地，还包括用于驱动所述滑动部件的驱动部件。

进一步地，所述驱动部件包括至少两个电极和连接所有所述电极的连接线。

进一步地，所述滑动部件与所述连接线之间构成单齿静电梳齿驱动结构。

进一步地，所述连接线是共面平行波导线。

本发明提供的面内滑动的射频开关的有益效果在于：

1、在滑动部件的端部设置弹性件，能够在滑动部件滑动并切换射频开关的开闭时起到缓冲的效果，对滑动部件的滑动位置进行限定，避免其在滑动时超出驱动区域，且能够避免滑动部件在运动时的冲击和碰撞，提高整个射频开关的可靠性。