[发明专利]一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，该膜由LB法组装、电感耦合等离子体刻蚀、镀膜步骤制成；所述镀膜厚度为4-10nm；

所述LB法组装，其方法具体为：

①将基底材料放置于去离子水液面下，用注射器将PS小球悬浊液缓慢滴加至玻璃盖片表面，使PS小球悬浊液沿玻璃盖片自由滑落至液面，使得PS小球在去离子水面上均匀铺展；

②在培养皿底部使用抽水机进行匀速抽水；

③最后将覆盖水面的基底材料转入无风容器中静置，至表面水层完全蒸发，使PS小球沉积在基底材料表面，制得PS小球层。

2.如权利要求1所述一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，所述电感耦合等离子体刻蚀，刻蚀气体为O₂，刻蚀气体的流速为15sccm，刻蚀时间为8-12min，下电极功率为1W，上电极功率为60W。

3.如权利要求1所述一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，其制备方法包括如下步骤：

(1)取直径200nm的PS小球与甲醇，配制成PS小球悬浊液；

(2)PS小球悬浊液经超声处理后，利用LB法组装PS小球层；

(3)对PS小球层进行电感耦合等离子体刻蚀，制得直径为165-175nm的PS小球；

(4)采用真空镀膜设备蒸镀厚度4-10nm的金属膜。

4.如权利要求3所述一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，所述PS小球悬浊液，其质量分数为0.5％。

5.如权利要求3所述一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，所述超声处理，其工作条件下为：室温，时间30s。

6.如权利要求1所述一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，所述玻璃盖片与去离子水面呈30°。

7.如权利要求1所述一种用于太阳能电池的等离子体光学增益膜，其特征在于，所述匀速抽水，其速度为150mL/min。