[发明专利]一种自动光学检测与晶圆测试一体机

权利要求书

1.一种自动光学检测与晶圆测试一体机，其特征在于，包括：自动光学检测设备、第一GPIB通讯接口、GPIB通讯线、第二GPIB通讯接口、探针台以及测试机；所述自动光学检测设备包括结构光扫描仪；所述第一GPIB通讯接口设置在所述结构光扫描仪上，所述第二GPIB通讯接口设置在探针台上，所述第一GPIB通讯接口与所述第二GPIB通讯接口通过所述GPIB通讯线连接，所述探针台与所述测试机连接。

2.根据权利要求1所述的自动光学检测与晶圆测试一体机，其特征在于，所述结构光扫描仪用于扫描并记录异常芯片，并将所有异常芯片的坐标记录在数据库中，并根据圆片批号、片号及芯片尺寸大小，自动生成MAP图文件。

3.根据权利要求2所述的自动光学检测与晶圆测试一体机，其特征在于，所述结构光扫描仪还用于在MAP图文件中将将异常芯片直接标识为特定BIN，其余正常芯片标识为T。

4.根据权利要求3所述的自动光学检测与晶圆测试一体机，其特征在于，所述探针台用于在芯片测试前，自动读取圆片批号、片号，并读取自动光学检测设备上的MAP图文件，通过坐标换算后，将MAP图文件上的异常芯片直接SIKP，生成新的MAP图文件。

5.根据权利要求4所述的自动光学检测与晶圆测试一体机，其特征在于，所述测试机用于根据探针台生的新的MAP图文件，测试标识为T的待测芯片的功能电性参数，在整片晶圆测试完成后，筛出外观异常、电性不良所有芯片，生成最终的MAP图文件。