[发明专利]一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置

说明书

本发明涉及一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置，属于晶体材料制备存储技术领域，包括支架、贮存舱、石英储藏管、左支撑法兰、右支撑法兰、左密封端盖、右密封端盖、管道、开关阀Ⅰ、主管道、开关阀Ⅱ、抽真空管路、真空过渡舱、真空泵、真空压力表；本发明通过设置一个贮存舱，并在贮存舱中设置多根石英储藏管，利用单根的石英储藏管来实现原材料、半制成品或制成品的真空贮存；同时单根石英储藏管上都设置泄漏触发器来检测是否漏气，以检测石英储藏管是否出现漏气的情况，可通过控制启动真空泵抽真空，防止泄漏进入的空气使材料氧化变质。

技术领域

本发明属于晶体材料制备存储技术领域，具体地说，涉及一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置。

背景技术

碲锌镉等单晶材料的制备，需要经过原材料提纯、摇摆混合、晶体生长、退火或切割等工艺环节，每个工艺环节都有一定流转时间，需要数小时甚至数天，在这过程中，原材料、半制成品或制成品容易暴露在空气中，但其表面与氧气等接触又容易导致材料氧化，最终影响到材料纯度和品质。另外，碲锌镉等单晶材料在加工过程中，进行切片、抛光、刻蚀等会促使切削面与空气中氧气接触，表面发生氧化反应，破坏原材料或制成品晶体材料的表面结构，影响其性能。因此，制备过程中每个工艺环节结束后，需立即将其贮存在真空装置内，缩短材料在空气中暴露时间，是保证碲锌镉等单晶材料制备品质的重要手段。对于制备的半成品或成品，贮存时间有时长达数月甚至1年或2年，确保贮存环境与空气隔离至关重要。

目前的技术是将原材料、半制成品或制成品放置在圆形或矩形容器内，贮存容器与真空泵之间连接真空管路，真空管路上安装有截止阀。原材料、半制成品或制成品放置好后，关闭贮存容积，打开截止阀，启动真空泵，将贮存容积内的空气抽走，关闭截止阀，使原材料、半制成品或制成品贮存在真空环境。需要取出原材料、半制成品或制成品时，打开截止阀，将空气放入真空贮存箱内，使箱体内外压力平衡。再打开贮存箱盖，取出原材料、半制成品或制成品。

上述技术存在的不足主要有两点：一是圆形或矩形容器为一个大容器，每次在打开容器盖取原材料、半制成品或制成品的过程中，都会导致其他材料及成品暴露在空气中；二是长时间贮存过程中，人工难于识别贮存箱是否泄漏，泄漏多少，泄漏后会导致原材料、半制成品或制成品在圆形或矩形容器内氧化且极难识别。因此，有必要对现有的技术改进。

发明内容

为了克服背景技术中存在的问题，本发明提供一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置，通过设置一个贮存舱，并在贮存舱中设置多根石英储藏管，利用单根的石英储藏管来实现原材料、半制成品或制成品的真空贮存；同时单根石英储藏管上都设置泄漏触发器来检测是否漏气，以解决泄漏难于发现且不能及时报警提醒的技术问题。

为实现上述目的，本发明是通过如下技术方案实现的：

一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置包括支架1、贮存舱2、石英储藏管3、左支撑法兰4、右支撑法兰5、左密封端盖6、右密封端盖7、管道8、开关阀Ⅰ9、主管道10、开关阀Ⅱ11、抽真空管路12、真空过渡舱13、真空泵14、真空压力表15，所述的贮存舱2固定安装在支架1上，贮存舱2的左右两侧壁上安装有均匀排列的左支撑法兰4、右支撑法兰5，且左支撑法兰4与右支撑法兰5一一对应，石英储藏管3的左右两端分别安装在左支撑法兰4与右支撑法兰5上，石英储藏管3的左右两端口分别通过左法兰密封端盖6、右密封端盖7，每个石英储藏管3的左法兰密封端盖6上设置有与石英储藏管3内腔连通的管道8，每根管道8上设置有开关阀Ⅰ9，所有管道8与主管道10的一端连接，主管道10的另一端与抽真空管路12的一端连接，抽真空管路12上安装有开关阀Ⅱ11，抽真空管路12的另一端与真空过渡舱13连接，真空过渡舱13通过管路与真空泵14，每根管道8上分别设置有真空压力表15；真空压力表15与PLC控制器18连接，PLC控制器18分别与开关阀Ⅱ11以及每根管道8上的开关阀Ⅰ9连接，真空泵14通过电磁阀与PLC控制器18连接。

进一步，每根管道8上设置有泄漏触发器16，泄漏触发器16与PLC控制器18连接，PLC控制器18与报警灯17连接。