[发明专利]一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置

权利要求书

1.一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置，其特征在于：所述的碲锌镉晶体材料真空贮存装置包括支架（1）、贮存舱（2）、石英储藏管（3）、左支撑法兰（4）、右支撑法兰（5）、左密封端盖（6）、右密封端盖（7）、管道（8）、开关阀Ⅰ（9）、主管道（10）、开关阀Ⅱ（11）、抽真空管路（12）、真空过渡舱（13）、真空泵（14）、真空压力表（15），所述的贮存舱（2）固定安装在支架（1）上，贮存舱（2）的左右两侧壁上安装有均匀排列的左支撑法兰（4）、右支撑法兰（5），且左支撑法兰（4）与右支撑法兰（5）一一对应，石英储藏管（3）的左右两端分别安装在左支撑法兰（4）与右支撑法兰（5）上，石英储藏管（3）的左右两端口分别通过左法兰密封端盖（6）、右密封端盖（7），每个石英储藏管（3）的左法兰密封端盖（6）上设置有与石英储藏管（3）内腔连通的管道（8），每根管道（8）上设置有开关阀Ⅰ（9），所有管道（8）与主管道（10）的一端连接，主管道（10）的另一端与抽真空管路（12）的一端连接，抽真空管路（12）上安装有开关阀Ⅱ（11），抽真空管路（12）的另一端与真空过渡舱（13）连接，真空过渡舱（13）通过管路与真空泵（14），每根管道（8）上分别设置有真空压力表（15）；真空压力表（15）与PLC控制器（18）连接，PLC控制器（18）分别与开关阀Ⅱ（11）以及每根管道（8）上的开关阀Ⅰ（9）连接，真空泵（14）通过电磁阀与PLC控制器（18）连接。

2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置，其特征在于：每根管道（8）上设置有泄漏触发器（16），泄漏触发器（16）与PLC控制器（18）连接，PLC控制器（18）与报警灯（17）连接。

3.根据权利要求2所述的一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置，其特征在于：所述的泄漏触发器（16）包括阀底座（20）、底座密封圈（21）、阀体（22）、导向头（23）、弹簧（24）、导向杆（25）、顶杆（26）、顶杆密封圈（27）、行程开关（28）、安装板（29），所述的阀体（22）固定安装在石英储藏管（3）与开关阀Ⅰ（9）之间的管道（8）上，通过真空状态检测管（19）与管道（8）连接，真空状态检测管（19）与阀底座（20）固定为一体，阀底座（20）安装在阀体（22）的阀内腔（30）内，阀底座（20）与阀体（22）连接端部设置有底座密封圈（21），阀底座（20）位于阀内腔（30）中的一端端部开设有一个凹槽，凹槽底部设置有一个导向头（23），导向头（23）的中部开设有与真空状态检测管（19）和凹槽连通的气流通道（31）；阀内腔（30）中安装有导向杆（25），弹簧（24）套接在导向杆（25）与导向头（23）上，导向杆（25）上设置有与阀内腔（30）的内壁密封的顶杆密封圈（27），导向杆（25）的另一端设置有穿出阀体（22）的顶杆（26）；阀体（22）的外壁上设置有安装板（29），行程开关（28）固定安装在安装板（29）上，行程开关（28）的触头（32）正对顶杆（26）；行程开关（28）与PLC控制器（18）连接。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种碲锌镉晶体材料真空贮存装置，其特征在于：主管道（10）上设置有氮气管道（33），氮气管道（33）上安装有开关阀Ⅲ（34），开关阀Ⅲ（34）与PLC控制器（18）连接，氮气管道（33）与氮气罐（35）连接。