[发明专利]一种钛靶材与铝背板的装配方法

说明书

本发明提供及一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；(3)对所述铝背板开设散热水道；(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理。所述装配方法使得钛靶材与铝背板的结合率高，个体缺陷率低，冷却水道的设计提高了装配后的靶材的使用性能。

技术领域

本发明属于靶材的装配领域，涉及一种钛靶材与铝背板的装配方法。

背景技术

在大规模的光学镀膜领域，常采用靶材组件在基底表面进行等离子体气相沉积(Plasma Vapor Deposition，PVD)镀膜，形成阻挡层。所述靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。所述背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。

在溅射过程中，靶材组件的工作环境一般较恶劣，例如，靶材组件工作温度较高，可达300℃～500℃；另外，靶材组件的一侧充以冷却水强冷，而另一侧则处于高真空环境下，由此在靶材组件的两侧形成有巨大的压力差；再有，靶材组件处在高压电场、磁场中，受到各种粒子的轰击。在如此恶劣的环境下，如果靶材组件中靶材与背板之间的结合度较差，将导致靶材在受热条件下变形、开裂，甚至与结合的背板相脱落，使得溅射无法正常进行。

因此，选择一种有效的焊接方式，使得靶材与背板实现可靠结合，满足长期稳定生产、使用靶材的需要，就显得十分必要。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述装配方法使得钛靶材与铝背板的结合率高，个体缺陷率低，冷却水道的设计提高了装配后的靶材的使用性能。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明目的之一在于体用一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：

(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；

(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；

(3)对所述铝背板开设散热水道；

(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理。

作为本发明优选的技术方案，所述钛靶材的预处理方法包括：对所述靶材的焊接面车削端面和斜面螺纹，对所述靶材的焊接面进行IPA液超声清洗并干燥。

优选地，所述钛靶材的晶粒≤100μm，如10μm、20μm、30μm、40μm、50μm、60μm、70μm、80μm或90μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述端面和斜面螺纹的螺距为(0.4～0.5)*(0.1～0.2)，如0.41*0.19、0.42*0.18、0.43*0.17、0.44*0.16、0.45*0.15、0.46*0.14、0.47*0.13、0.48*0.12或0.49*0.11等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述超声清洗的时间不低于10min，如1min、2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min或9min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述干燥为真空干燥，所述真空干燥的真空度不高于0.01Pa，时间不低于60min。

作为本发明优选的技术方案，所述铝背板的预处理方法包括：对所述铝背板的焊接面进行车削无螺纹加工，对所述铝背板的焊接面进行IPA液超声清洗并干燥；