[发明专利]一种用于氟气加热的氟气加热装置

权利要求书

1.一种用于氟气加热的氟气加热装置，其特征在于：筒体顶部有氟气入口管道和氟气出口管道，筒体内部腔体由隔板将其分成左右两半，即预热腔体和加热腔体，筒体内部腔体上下分别设置上孔板和下孔板，筒体内部腔体装填铜环填料层，在下孔板下方设有保温层，上孔板上部设有温度计套管。

2.根据权利要求1所述的用于氟气加热的氟气加热装置，其特征在于：所述的氟气入口管道为DN65。

3.根据权利要求1所述的用于氟气加热的氟气加热装置，其特征在于：所述的氟气出口管道为DN65。

4.根据权利要求1所述的用于氟气加热的氟气加热装置，其特征在于：所述的铜环填料层在筒体内部腔体装填量为1/3～1/2。

5.根据权利要求1所述的用于氟气加热的氟气加热装置，其特征在于：在使用过程中，常温氟气通过氟气入口管道自上而下进入预热腔体，通过上孔板孔隙进入铜环填料层进行预热，然后经左侧下孔板进入下部空腔缓冲后，再通过右侧下孔板进入加热腔体的铜环填料层进行进一步加热，加热后的氟气通过上孔板进入氟气出口管道，经过左右腔体的连续加热，通过对出口氟气进行温度监测，实时观察进入立式氟化炉中的氟气的温度，最终将温度由室温升至350℃后，通过顶部氟气出口管道进入氟化反应器。