[发明专利]PVD设备的双面镀膜控制方法、装置及系统

权利要求书

1.一种PVD设备的双面镀膜控制方法，其特征在于，包括：

利用前升降料台系统接收用于盛装目标物料的目标料盘，并采集所述目标料盘的工作信息，所述前升降料台系统包括前升降料台、图片采集装置；

所述利用前升降料台系统接收用于盛装目标物料的目标料盘，并采集所述目标料盘的工作信息，具体包括：通过发送进料指令，控制所述前升降料台接收用于盛装目标物料的目标料盘；在判定所述目标物料上料完成后，控制将所述前升降料台运行至工作位；利用所述图片采集装置识别所述前升降料台运行至工作位时，对应用于区分所述目标料盘的料盘孔号；依据所述料盘孔号记录所述目标料盘的连续执行次数，所述连续执行次数用于表征镀膜执行的次数；

基于所述工作信息控制翻转台系统以及镀膜主机执行所述目标物料下的双面镀膜操作，具体包括：

根据所述连续执行次数输出用于执行双面镀膜操作的控制指令；

基于所述控制指令控制所述翻转台系统以及镀膜主机执行所述目标物料下的双面镀膜操作。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述连续执行次数输出用于执行双面镀膜操作的控制指令，包括：

若判定所述连续执行次数为1，则输出用于执行第一面镀膜操作的第一控制指令；

若判定所述连续执行次数为2，则输出用于执行第二面镀膜操作的第二控制指令。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述控制指令控制所述翻转台系统以及镀膜主机执行所述目标物料下的双面镀膜操作，包括：

若判定所述连续执行次数为1，则基于所述第一控制指令，控制将所述目标料盘中的目标物料经过翻转台系统，流转至镀膜主机并执行所述第一面镀膜操作；

若判定所述连续执行次数为2，则基于所述第二控制指令，控制将所述目标料盘中的目标物料流转至翻转台系统，再控制所述翻转台系统翻转180°后，将所述目标物料流转至镀膜主机执行所述第二面镀膜操作。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在若判定所述连续执行次数为1，则基于所述第一控制指令，控制将所述目标料盘中的目标物料经过翻转台系统，流转至镀膜主机并执行所述第一面镀膜操作之后，具体还包括：

控制将后升降料台运行至工作位，用于接收所述前升降料台中的目标料盘；

在判定所述后升降料台接收到所述目标料盘后，控制将所述目标料盘流转至底回线系统，以便在所述前升降料台位于空闲状态时，控制所述前升降料台在所述底回线系统接收所述目标料盘，执行所述第二面镀膜操作。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述若判定所述连续执行次数为2，则基于所述第二控制指令，控制将所述目标料盘中的目标物料流转至翻转台系统，再控制所述翻转台系统翻转180°后，将所述目标物料流转至镀膜主机执行所述第二面镀膜操作之后，具体还包括：

输出双面镀膜完成的提示信息；

控制所述前升降料台反转，将所述目标料盘流转至接驳车；

清空所述前升降料台系统中关于所述目标料盘的工作信息。

6.一种PVD设备的双面镀膜控制装置，其特征在于，包括：

采集模块，用于利用前升降料台系统接收用于盛装目标物料的目标料盘，并采集所述目标料盘的工作信息，所述前升降料台系统包括前升降料台、图片采集装置；

所述利用前升降料台系统接收用于盛装目标物料的目标料盘，并采集所述目标料盘的工作信息，具体包括：通过发送进料指令，控制所述前升降料台接收用于盛装目标物料的目标料盘；在判定所述目标物料上料完成后，控制将所述前升降料台运行至工作位；利用所述图片采集装置识别所述前升降料台运行至工作位时，对应用于区分所述目标料盘的料盘孔号；依据所述料盘孔号记录所述目标料盘的连续执行次数，用于表征镀膜执行的次数；

控制模块，用于基于所述工作信息控制翻转台系统以及镀膜主机执行对所述目标物料的双面镀膜操作，具体包括：

根据所述连续执行次数输出用于执行双面镀膜操作的控制指令；

基于所述控制指令控制所述翻转台系统以及镀膜主机执行所述目标物料下的双面镀膜操作。

7.一种PVD设备的双面镀膜控制系统，其特征在于，所述系统在执行时，实现权利要求1-5中任一项所述的PVD设备的双面镀膜控制方法，所述系统包括：设备主机、前升降料台系统、翻转台系统、后升降料台系统、底回料线系统；

所述设备主机，用于与所述前升降料台系统、翻转台系统、后升降料台系统、底回料线系统建立网络连接，并根据工作状态发送控制指令；

所述前升降料台系统，包括前升降料台、图片采集装置，所述前升降料台用于放置盛装目标物料的目标料盘，所述图片采集装置用于在所述前升降料台运行至工作位时，采集所述目标料盘的工作信息；

所述翻转台系统，用于对PVD设备的翻转控制；

所述后升降料台系统，包括后升降料台，所述后升降料台用于在所述前升降料台系统完成第一面镀膜操作后，接收所述目标料盘；

所述底回料线系统，用于存放所述后升降料台系统流转的所述目标料盘，以便所述前升降料台系统在空闲状态时接收所述目标料盘，并执行第二面镀膜操作。