[发明专利]光学仪器镜面垂直度检测装置及方法

权利要求书

1.光学仪器镜面垂直度检测装置，其特征在于，包括：自准直平行光管、旋转驱动装置、轴线与所述自准直平行光管轴线重合的夹持装置；所述夹持装置固定待检测仪器，使所述待检测仪器镜面朝上且轴线与所述自准直平行光管轴线重合；所述自准直平行光管包括物镜和读数目镜，所述读数目镜观察所述物镜经所述待检测仪器镜面反射而成的像；所述旋转驱动装置与所述待检测仪器末端连接固定，并带动所述待检测仪器旋转。

2.如权利要求1所述的光学仪器镜面垂直度检测装置，其特征在于，所述夹持装置为与待检测仪器配合的开孔定位工装或可调节V形工装。

3.如权利要求1所述的光学仪器镜面垂直度检测装置，其特征在于，所述自准直平行光管连接成像传感器；所述成像传感器自动采集所述读数目镜观察到的所述物镜成像。

4.如权利要求1所述的光学仪器镜面垂直度检测装置，其特征在于，所述自准直平行光管、所述旋转驱动装置、所述夹持装置都通过支架固定于所述平台上。

5.如权利要求4所述的光学仪器镜面垂直度检测装置，其特征在于，固定所述自准直平行光管的支架上设置调节单元，用于调整所述自准直平行光管与所述待检测仪器镜面的距离。

6.光学仪器镜面垂直度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、通过夹持装置固定待检测仪器，使待检测仪器镜面朝上且轴线与自准直平行光管轴线重合；

S2、运行旋转驱动装置，旋转驱动装置带动待检测仪器在夹持装置中旋转；

S3、调整自准直平行光管与待检测仪器的距离，使读数目镜观察到的物镜经所述待检测仪器镜面反射而成的像偏移量最小；

S4、待检测仪器回转一周后，读数目镜观察到的物镜经所述待检测仪器镜面反射而成的像形成一个近似封闭图形，通过此近似封闭图形确定最大偏移量d；

S5、自准直平行光管焦距为F，通过公式θ＝arctan(d/F)计算得出待测仪器镜面与待测仪器轴线的垂直度θ。

7.如权利要求6所述的光学仪器镜面垂直度检测方法，其特征在于，所述最大偏移量d为所述近似封闭图形距离最远两端点连线的一半或所述近似封闭图形的拟合圆半径。