[发明专利]一种锡滴发生装置有效
申请号: | 202011386184.1 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN112540512B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 伍强;李艳丽;顾峥 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B05B1/00;B05B15/50 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陈慧弘 |
地址: | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发生 装置 | ||
1.一种锡滴发生装置,其特征在于,包括:
倒置的锡滴发生器本体;
在所述锡滴发生器本体的喷嘴上方设置有锡池,所述锡池与所述喷嘴联通;
所述锡池上设置有加热线圈,用于对锡池中的锡进行加热,使其保持熔融态;
其中,在所述锡池外壁上还设置有第一电驱动装置,用于激发所述锡池中熔融态的锡产生预设频率的驻波振动;所述预设频率与所述锡滴发生器本体的喷射频率相同,并且在所述喷嘴位置的液面处于波谷时,喷射所述锡滴。
2.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述第一电驱动装置和所述锡池的侧壁之间设置有绝热层。
3.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述锡池为圆形扁平状,所述第一电驱动装置至少为四个,对称设置在所述锡池的周围。
4.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,还包括:
相位检测装置,用于检测所述液面振动在所述喷嘴位置的相位信息;
喷射控制装置,用于根据所述相位信息,控制所述锡滴喷射的相位,使得所述锡滴喷射时,所述喷嘴位置的液面处于波谷。
5.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述倒置的锡滴发生器本体包括:
带有压力推送机构的盛放熔融态的锡的腔体;
设置在所述腔体上部并与所述腔体联通的喷管,所述喷管的上部末端与所述喷嘴联通;
在所述腔体的外壁和所述喷管的外壁上设置有加热线圈。
6.根据权利要求5所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述喷管的一部分外壁上设置有加热线圈,所述喷管的另一部分外壁上设置有绝热层。
7.根据权利要求6所述的锡滴发生装置,其特征在于,
在所述绝热层的外侧设置有第二电驱动装置,用于激发所述喷管中熔融态的锡产生驻波振动。
8.根据权利要求6所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述腔体的上部设置有环绕所述喷管、喷嘴以及锡池的外壳,所述第一电驱动装置和所述第二电驱动装置与所述外壳之间,设置有冷却外套。
9.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述锡池的边缘,设置有溢出装置,用于溢出和/或回收超过预设液面高度上限的熔融态的锡。
10.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述的锡池上设置有液面传感器,用于监测液面位置,当所述液面位置低于预设液面高度下限时,触发锡滴发生器本体向所述锡池补充熔融态的锡。
11.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述加热线圈设置在所述锡池的底部靠近喷嘴的位置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司,未经上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011386184.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:金属雕花装饰一体板
- 下一篇:一种面凝并功能无耗材过滤装置及空气净化器