[发明专利]一种锡滴发生装置有效

专利信息
申请号: 202011386184.1 申请日: 2020-12-01
公开(公告)号: CN112540512B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 伍强;李艳丽;顾峥 申请(专利权)人: 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;B05B1/00;B05B15/50
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;陈慧弘
地址: 201800 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 发生 装置
【权利要求书】:

1.一种锡滴发生装置,其特征在于,包括:

倒置的锡滴发生器本体;

在所述锡滴发生器本体的喷嘴上方设置有锡池,所述锡池与所述喷嘴联通;

所述锡池上设置有加热线圈,用于对锡池中的锡进行加热,使其保持熔融态;

其中,在所述锡池外壁上还设置有第一电驱动装置,用于激发所述锡池中熔融态的锡产生预设频率的驻波振动;所述预设频率与所述锡滴发生器本体的喷射频率相同,并且在所述喷嘴位置的液面处于波谷时,喷射所述锡滴。

2.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述第一电驱动装置和所述锡池的侧壁之间设置有绝热层。

3.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述锡池为圆形扁平状,所述第一电驱动装置至少为四个,对称设置在所述锡池的周围。

4.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,还包括:

相位检测装置,用于检测所述液面振动在所述喷嘴位置的相位信息;

喷射控制装置,用于根据所述相位信息,控制所述锡滴喷射的相位,使得所述锡滴喷射时,所述喷嘴位置的液面处于波谷。

5.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述倒置的锡滴发生器本体包括:

带有压力推送机构的盛放熔融态的锡的腔体;

设置在所述腔体上部并与所述腔体联通的喷管,所述喷管的上部末端与所述喷嘴联通;

在所述腔体的外壁和所述喷管的外壁上设置有加热线圈。

6.根据权利要求5所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述喷管的一部分外壁上设置有加热线圈,所述喷管的另一部分外壁上设置有绝热层。

7.根据权利要求6所述的锡滴发生装置,其特征在于,

在所述绝热层的外侧设置有第二电驱动装置,用于激发所述喷管中熔融态的锡产生驻波振动。

8.根据权利要求6所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述腔体的上部设置有环绕所述喷管、喷嘴以及锡池的外壳,所述第一电驱动装置和所述第二电驱动装置与所述外壳之间,设置有冷却外套。

9.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述锡池的边缘,设置有溢出装置,用于溢出和/或回收超过预设液面高度上限的熔融态的锡。

10.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,在所述的锡池上设置有液面传感器,用于监测液面位置,当所述液面位置低于预设液面高度下限时,触发锡滴发生器本体向所述锡池补充熔融态的锡。

11.根据权利要求1所述的锡滴发生装置,其特征在于,所述加热线圈设置在所述锡池的底部靠近喷嘴的位置。

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