[发明专利]显示装置的制造装置

说明书

本发明提供一种显示装置的制造装置，包括：坩埚，容纳沉积物质；喷嘴，布置于所述坩埚的一侧，以引导所述沉积物质朝向基板喷射的路径；以及盖，布置于容纳在所述坩埚的所述沉积物质的表面。

技术领域

本发明涉及一种制造装置，更加详细地涉及一种沉积均匀度得到提高的显示装置的制造装置。

背景技术

例如，在如有机发光显示装置的薄膜形成的薄膜制造工序中大多利用使沉积物质蒸发而粘贴于基板的表面的沉积工序。即，利用如下的沉积工序：将掩模放置于基板上，并且使沉积物质的蒸汽通过掩模的开口，从而使所期望的图案的薄膜形成于基板上。

发明内容

本发明的实施例提供一种沉积均匀度得到提高的显示装置的制造装置。

根据本发明的一观点，提供一种显示装置的制造装置，包括：坩埚，容纳沉积物质；喷嘴，布置于所述坩埚的一侧，以引导所述沉积物质朝向基板喷射的路径；以及盖，布置于容纳在所述坩埚的所述沉积物质的表面。

本实施例中，所述盖可以直接布置于容纳在所述坩埚的所述沉积物质的表面。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质的表面可以具有第一面积，所述盖可以具有比所述第一面积小的第二面积。

本实施例中，所述盖可以使容纳于所述坩埚的所述沉积物质的表面的至少一部分暴露。

本实施例中，所述至少一部分被暴露的所述沉积物质的表面可以是所述沉积物质的表面的总面积的10％至50％。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质可以具有第一比重，所述盖可以具有比所述第一比重小的第二比重。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质可以包括银(Ag)。

本实施例中，所述盖可以包括碳、石墨、热解氮化硼、热解石墨以及莫来石中的至少一个物质。

本实施例中，所述盖可以配备为圆形形状。

本实施例中，所述盖可以配备为多边形形状。

本实施例中，所述盖在与所述喷嘴面对的表面可以形成有凹凸。

本实施例中，所述坩埚可以配备为圆筒形形状。

本实施例中，显示装置的制造装置还可以包括：加热器，对容纳于所述坩埚的所述沉积物质加热。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质可以被所述加热器加热而朝向基板喷射。

根据本发明的另一观点，提供一种显示装置的制造装置，包括：掩模，包括开口；坩埚，容纳沉积物质；喷嘴，布置于所述坩埚的一侧，以引导所述沉积物质朝向基板喷射的路径；以及盖，布置于容纳在所述坩埚的所述沉积物质的表面，其中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质通过所述喷嘴而喷射，并且通过所述开口并沉积于所述基板。

本实施例中，所述盖可以直接布置于容纳在所述坩埚的所述沉积物质的表面。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质的表面可以具有第一面积，所述盖可以具有比所述第一面积小的第二面积。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质可以具有第一比重，所述盖可以具有比所述第一比重小的第二比重。

本实施例中，容纳于所述坩埚的所述沉积物质可以包括银(Ag)。

本实施例中，所述盖可以包括碳、石墨、热解氮化硼、热解石墨以及莫来石中的至少一个物质。

除了前述的记载之外的其他方面、特征、优点可从以下的用于实施发明的具体内容、权利要求书以及附图变得明确。