[发明专利]一种晶圆切片加工除尘设备

权利要求书

1.一种晶圆切片加工除尘设备，其结构包括电机(1)、传动箱(2)、外罩(3)、冲洗头(4)、切片底座(5)、挡板(6)，所述电机(1)下端与传动箱(2)后端上侧嵌固连接，所述传动箱(2)右侧与外罩(3)左侧嵌固连接，所述外罩(3)后端与冲洗头(4)上端活动卡合，所述切片底座(5)与外罩(3)中部轴连接，所述挡板(6)与外罩(3)左侧上端焊接连接，其特征在于：

所述切片底座(5)包括外壳(51)、升降座(52)、吸盘(53)、旁护板(54)，所述外壳(51)底部上侧与升降座(52)下侧相贴合，所述吸盘(53)下端与升降座(52)上端螺纹配合，所述旁护板(54)与升降座(52)外侧上端相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片加工除尘设备，其特征在于：所述旁护板(54)包括固定框(541)、重力球(542)、弹簧(543)、弧形杆(544)、突出块(545)，所述固定框(541)下侧与升降座(52)上侧相贴合，所述重力球(542)右侧与弧形杆(544)左侧焊接连接，所述弹簧(543)焊接连接在弧形杆(544)右侧与固定框(541)右端左侧之间，所述弧形杆(544)上端与突出块(545)下端间隙配合，所述突出块(545)右侧与固定框(541)右端左侧相贴合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片加工除尘设备，其特征在于：所述突出块(545)包括固定块(45a)、连接杆(45b)、顶板(45c)，所述固定块(45a)右侧与固定框(541)右端左侧相贴合，所述连接杆(45b)轴连接在弧形杆(544)上端与顶板(45c)右侧中部之间，所述顶板(45c)上端与固定块(45a)左端上侧轴连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切片加工除尘设备，其特征在于：所述顶板(45c)包括转轴(c1)、连接轴(c2)、主杆(c3)、倾斜板(c4)，所述转轴(c1)与固定块(45a)左端轴连接，所述连接轴(c2)与主杆(c3)右端下侧相贴合，所述主杆(c3)右端与转轴(c1)左侧焊接连接，所述倾斜板(c4)与主杆(c3)内部轴连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆切片加工除尘设备，其特征在于：所述倾斜板(c4)包括卡合头(c41)、减速块(c42)、弹片(c43)，所述卡合头(c41)上端与主杆(c3)内部轴连接，所述减速块(c42)与卡合头(c41)外侧焊接连接，所述弹片(c43)焊接连接在减速块(c42)与卡合头(c41)外侧之间。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片加工除尘设备，其特征在于：所述减速块(c42)包括固定轴(r1)、主体板(r2)、泄力孔(r3)，所述固定轴(r1)与卡合头(c41)外侧轴连接，所述主体板(r2)左侧与固定轴(r1)右侧活动卡合，所述泄力孔(r3)与主体板(r2)内部嵌固连接。