[发明专利]一种射频功率控制方法及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种射频功率控制方法，等离子体反应装置包含等离子体反应腔，所述反应腔上方设置多个电感耦合线圈，射频功率源的射频功率通过匹配网络分配到所述电感耦合线圈的多个线圈上使得反应腔内产生等离子体，所述多个线圈记为第一至第M线圈，其特征在于，所述射频功率控制方法包含：

同步射频功率源的输出时钟信号；

探测第i线圈的第i电流信号；

转换所述第i电流信号为对应的第i脉冲直流信号；

根据所述输出时钟信号对第i脉冲直流信号进行处理后计算对应的第i电流反馈值；

根据所述第i电流反馈值调整分配到第i线圈上的射频功率；其中i∈[1,M]。

2.如权利要求1所述的射频功率控制方法，其特征在于，所述同步射频功率源的输出时钟信号包含：根据射频功率源的输出功率同步射频功率源的输出时钟信号：当射频功率源输出射频功率时，所述输出时钟信号处于高电平；当射频功率源不输出射频功率时，所述输出时钟信号处于低电平。

3.如权利要求1所述的射频功率控制方法，其特征在于，所述同步射频功率源的输出时钟信号包含：根据射频功率源的输出功率同步射频功率源的输出时钟信号：当射频功率源输出第一功率时，所述输出时钟信号处于高电平；当射频功率源输出第二功率时，所述输出时钟信号处于低电平；第一功率大于第二功率。

4.如权利要求1所述的射频功率控制方法，其特征在于，通过对所述第i电流信号进行整流、滤波得到对应的第i脉冲直流信号，i∈[1,M]。

5.如权利要求2所述的射频功率控制方法，其特征在于，所述对第i脉冲直流信号进行处理包含：当射频功率源输出射频功率时对第i脉冲直流信号进行采样；输出时钟信号单个时钟周期内的采样次数为N次，依序得到采样信号S_i,1～S_i,N；舍弃采样信号S_i,1～S_i,p以及S_i,q～S_i,N，实现对第i脉冲直流信号的采样信号去噪；其中1＜p＜q＜N，p、q分别为与反应腔工艺对应的第一、第二校准值；依采样的时间顺序实时存储被保留的第i脉冲直流信号的采样信号；i∈[1,M]。

6.如权利要求3所述的射频功率控制方法，其特征在于，所述对第i脉冲直流信号进行处理包含：当射频功率源输出第一功率时，对第i脉冲直流信号进行采样；输出时钟信号单个时钟周期内的采样次数为N次，依序得到采样信号S_i,1～S_i,N；舍弃采样信号S_i,1～S_i,p以及S_i,q～S_i,N，实现对第i脉冲直流信号的采样信号去噪；其中1＜p＜q＜N，p、q分别为与反应腔工艺对应的第一、第二校准值；依采样的时间顺序实时存储被保留的第i脉冲直流信号的采样信号；i∈[1,M]。

7.如权利要求3所述的射频功率控制方法，其特征在于，所述对第i脉冲直流信号进行处理包含：当射频功率源输出第二功率时，对第i脉冲直流信号进行采样；输出时钟信号单个时钟周期内的采样次数为N次，依序得到采样信号S_i,1～S_i,N；舍弃采样信号S_i,1～S_i,p以及S_i,q～S_i,N，实现对第i脉冲直流信号的采样信号去噪；其中1＜p＜q＜N，p、q分别为与反应腔工艺对应的第一、第二校准值；依采样的时间顺序实时存储被保留的第i脉冲直流信号的采样信号；i∈[1,M]。