[发明专利]载台组件

权利要求书

1.一种载台组件，适用于防止基材的非目标面受沉积，其特征在于，所述载台组件包括：

基座，具有圆形凹槽，以使所述基座的中间形成圆形的基材承载座，所述圆形凹槽的外缘与所述基座的外缘之间具有第一距离并形成外墙底座，其中所述外墙底座具有外墙底座内面，而所述外墙底座内面相邻所述圆形凹槽；以及

外墙，沿着所述外墙底座向上延伸，所述外墙具有外墙内面，而所述外墙内面相邻所述圆形凹槽，其中所述外墙内面与所述外墙底座内面彼此切齐；

其中所述圆型凹槽的外缘与所述基材承载座的边缘之间具有第一宽度，以及所述圆形凹槽的底部与所述外墙的顶部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度与所述第一宽度的深宽比为1.5-4；

其中所述第一宽度小于或等于5毫米。

2.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，其中所述第一深度与所述第一宽度的所述深宽比为2-2.5；其中所述第一宽度小于或等于2毫米。

3.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，其中所述第一宽度小于或等于1毫米。

4.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，其中所述基座与所述外墙为组合而成，而所述圆形凹槽的底部与所述外墙底座的顶部之间具有凹槽外侧深度，以及所述圆形凹槽的底部与所述基材承载座的顶部具有凹槽内侧深度，其中所述凹槽外侧深度大于、等于或小于所述凹槽内侧深度。

5.如权利要求4所述的载台组件，其特征在于，其中所述凹槽外侧深度大于1毫米；其中所述凹槽内侧深度大于1毫米。

6.如权利要求1所述的载台组件，其特征在于，所述载台组件更包括：

遮蔽顶座，为中空环状圈体，设置于所述外墙的上方，所述遮蔽顶座围绕一個中空部分，而所述中空部分的直径小于所述圆形凹槽的圆形凹槽外缘的直径。

7.如权利要求6所述的载台组件，其特征在于，其中所述遮蔽顶座还包括底部内缘，相邻所述中空部分，而所述底部内缘与所述圆形凹槽的外缘之间具有第三距离，而所述第三距离为1-3毫米；其中所述遮蔽顶座的底部与所述外墙的顶部之间具有第四距离，而所述第四距离为0-3毫米。

8.一种载台组件，适用于防止基材的非目标面受沉积，其特征在于，所述载台组件包括：

基座，具有圆形凹槽，以使所述基座的中间形成圆形的基材承载座，所述圆形凹槽的外缘与所述基座的外缘之间具有第一距离并形成外墙底座，其中所述外墙底座具有外墙底座内面，而所述外墙底座内面相邻所述圆形凹槽；以及

外墙，沿着所述外墙底座向上延伸，所述外墙具有外墙内面，而所述外墙内面相邻所述圆形凹槽，其中所述外墙内面与所述外墙底座内面彼此切齐；

其中在所述基材承载座承载基材时，所述外墙内面与所述基材之间具有第二宽度，以及所述圆形凹槽的底部与所述外墙的顶部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度与所述第二宽度的深宽比为1-4。

9.一种载台组件，适用于防止基材的非目标面受沉积，其特征在于，所述载台组件包括：

基座，具有圆形凹槽，以使所述基座的中间形成圆形的基材承载座，所述圆形凹槽的外缘与所述基座的外缘之间具有第一距离并形成外墙底座，其中所述外墙底座具有外墙底座内面，而所述外墙底座内面相邻所述圆形凹槽；以及

外墙，沿着所述外墙底座向上延伸，所述外墙具有外墙内面，而所述外墙内面相邻所述圆形凹槽，其中所述外墙内面与所述外墙底座内面彼此切齐；

其中在所述基材承载座承载基材时，所述外墙与所述基材之间具有第二宽度，且所述第二宽度为0.5-3毫米。

10.一种载台组件，适用于防止基材的非目标面受沉积，其特征在于，所述载台组件包括：

基座，具有圆形凹槽，以使所述基座的中间形成圆形的基材承载座，所述圆形凹槽的外缘与所述基座的外缘之间具有第一距离并形成外墙底座，其中所述外墙底座具有外墙底座内面，而所述外墙底座内面相邻所述圆形凹槽；以及

外墙，沿着所述外墙底座向上延伸，所述外墙具有外墙内面及外墙内面顶端，其中所述外墙内面顶端相鄰所述外牆內面，而所述外墙内面相邻所述圆形凹槽，其中所述外墙内面与所述外墙底座内面彼此切齐；

其中所述基质承载座的顶部与所述外墙内面顶端之间具有第一垂直距离，且所述第一垂直距离为0.5-4毫米。