[发明专利]表面性状推断系统

说明书

本发明提供表面性状推断系统。该表面性状推断系统具备：传感器，在磨削装置中，在与工件的表面接触或者非接触的状态下，输出与工件的表面状态相应的信息；以及表面性状生成装置，基于由传感器检测出的时间序列数据来生成工件的面状的表面性状。表面性状生成装置具备：基础数据获取部，获取在传感器的测定位置沿螺旋状移动时的、每个规定角度的时间序列数据作为基础数据；周向颤动生成部，基于多个基础数据来生成工件的轴向位置上的周向颤动；以及面状颤动生成部，将工件(W)的每个不同角度的多个周向颤动视为同一角度上的多个周向颤动来生成面状颤动。

技术领域

本公开涉及表面性状推断系统。

背景技术

磨削加工例如通过使高速旋转的工具和旋转的工件接触来进行。在使工具旋转来加工工件的情况下，若产生颤动振动，则存在加工面精度降低，或过大的负荷作用于工具的情况。以往，通过确认磨削加工后的工件的表面状态来检测加工时的颤动振动的产生的方法被使用起来。在磨削加工结束后，通过圆度测定器测定工件的表面状态。由于磨削装置与表面状态测定器是分开的，所以存在在工件表面观察到产生颤动振动的情况下，将其反馈给加工条件等也会出现时间差的问题。

针对于此，如日本特开2000－233368号公报那样，也提出了在工序中进行颤动振动产生的检测的方法。颤动振动检测器例如测定磨削装置或被加工物的振动加速度、振动位移等，并在检测出超过规定阈值的振动时判定为产生了颤动振动。通过在磨削装置上进行颤动振动的检测，能够在检测出颤动振动的情况下，变更加工条件来抑制颤动振动。

在日本特开2000－233368号公报的颤动检测方法中，能够知道是否产生颤动，但为了更正确地把握工件的做工、砂轮的摩耗状态等，希望知道工件的表面上的一定范围以上的表面性状。然而，测定工件的表面性状花费时间，特别是很难在工序中获得表面性状。

发明内容

本公开提供一种在磨削加工的工序中，迅速地推断工件的表面性状的表面性状推断系统。

根据本公开的一个方式，表面性状推断系统具备：传感器，输出与由磨削装置通过砂轮进行了磨削的工件的表面状态相应的信息，该传感器构成为检测伴随着上述工件的旋转而产生的由与上述工件的表面接触的接触部件的振动引起的加速度、随着上述工件的旋转而产生的由上述接触部件的振动引起的位移、以及该传感器以非接触的方式配置于上述工件的表面的情况下随着上述工件的旋转而产生的从基准位置到上述工件的表面的位移中的至少一个；以及表面性状生成装置，构成为当使在上述工件的表面的测定位置至少沿该工件的周向移动时，基于由上述传感器检测出的与检测值相关的时间序列数据来生成上述工件的面状的表面性状。上述表面性状生成装置具备：基础数据获取部，构成为当使在上述工件的表面的上述测定位置沿螺旋状移动时，获取针对相对于上述工件的旋转轴的每个规定角度的螺旋状的位置的上述时间序列数据来作为多个基础数据；周向颤动生成部，构成为基于针对每个上述规定角度的螺旋状的位置的上述多个基础数据，生成分别在上述工件的不同的角度并且上述工件的不同的轴向位置上的周向颤动；以及面状颤动生成部，构成为将上述工件的每个不同的角度的上述多个周向颤动视为上述工件的同一角度上的上述多个周向颤动，来生成使上述多个周向颤动在轴向上并列的面状颤动。

本公开的表面性状推断系统能够在磨削加工的工序中，迅速地推断工件的表面性状。

附图说明

图1是表示磨削装置100的结构的俯视图。

图2是表示磨削装置100的尺寸测量装置14附近的剖视图。

图3是表示磨削装置100的磨削工序的流程图。

图4是表示本公开的表面性状推断系统1的结构的框图。

图5是表示工件W上的第一个例子的尺寸测量装置14的接触位置的概念图。

图6是表示沿螺旋状获取的检测数据的一个例子的图表。