[发明专利]一种研磨垫在审
| 申请号： | 202011279771.0 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN113967875A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 钱霖 | 申请（专利权）人： | 苏州诺天美新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 李昌霖 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨垫，其特征在于：包括研磨垫底层(1)、位于研磨垫底层(1)上的多个沟槽(2)、位于研磨垫底层(1)上的多个导流槽(3)；所述多个沟槽(2)分别为同心圆设置，所述多个导流槽(3)分别与多个沟槽(2)交叉设置。
2.根据权利要求1所述的一种研磨垫，其特征在于：所述多个导流槽(3)由内侧到外侧倾斜向上设置。
3.根据权利要求1所述的一种研磨垫，其特征在于：所述多个沟槽(2)内部分别设置有阻流块(201)，且相邻两个沟槽(2)内部的阻流块(201)交错设置。
4.根据权利要求1所述的一种研磨垫，其特征在于：所述研磨垫底层(1)的外侧高度H1大于内侧高度H2。
5.根据权利要求4所述的一种研磨垫，其特征在于：所述高度H1的范围为10mm～15mm，所述高度H2的范围为5mm～10mm。
6.根据权利要求1所述的一种研磨垫，其特征在于：所述多个沟槽(2)的宽度范围均为10mm～15mm，深度范围均为5mm～10mm。
7.根据权利要求1所述的一种研磨垫，其特征在于：所述多个导流槽(3)的宽度范围均为3mm～6mm，深度范围均为3mm～8mm。
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