[发明专利]一种晶圆承载装置在审

申请号：	202011278350.6	申请日：	2020-11-16
公开（公告）号：	CN112542420A	公开（公告）日：	2021-03-23
发明（设计）人：	田一;李小龙;田英干	申请（专利权）人：	天霖（张家港）电子科技有限公司
主分类号：	H01L21/683	分类号：	H01L21/683
代理公司：	北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411	代理人：	周超
地址：	215626 江苏省苏州市***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种承载装置
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【权利要求书】：

1.一种晶圆承载装置，其特征在于：包括晶圆承载台(1)、用于支撑晶圆承载台(1)的承载支柱(2)、设置在承载支柱(2)内的缓冲装置(3)和预清洗装置(4)，还包括可旋转、可竖直移动以及可水平移动的真空晶圆夹盘(5)，所述真空晶圆夹盘(5)四周还设置多个有限位夹具(51)和驱动限位夹具(51)相对于真空晶圆夹盘(5)移动的驱动装置(52)，还包括设置在真空晶圆夹盘(5)上的位置传感器(53)。

2.如权利要求1所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述预清洗装置(4)包括能竖直升降的防护罩(41)、能竖直升降的喷头(42)和收集槽(43)，所述防护罩(41)设置在晶圆承载台(1)的外围并环绕晶圆承载台(1)，所述喷头(42)设置在晶圆承载台(1)的中心轴上。

3.如权利要求2所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述收集槽(43)包括底壁(431)以及自底壁(431)向上延伸形成的侧壁(432)。

4.如权利要求1所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述驱动装置(52)为气缸。

5.如权利要求3所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述收集槽(43)上开设有排液口。

6.如权利要求1所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述缓冲装置(3)为弹簧。

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